Wafergard® GT-Plus / GTL 在线气体过滤器（Entegris 应特格）

这是半导体高纯管路末端（Point-of-Use）惰性气体颗粒过滤器，属于应特格（Entegris）Wafergard 系列，主打低成本、紧凑型终端气体除尘，用于氮气等惰性气体管路，拦截微颗粒，保护晶圆工艺。

产品定位

• GT-Plus：推荐流量 30 slpm

• GTL：推荐流量 80 slpm两者均为疏水 PTFE 膜，用于惰性气体在线颗粒过滤，是晶圆设备终端使用点过滤方案。

应用场景

• 晶圆传输系统（Wafer transport systems）

• 洁净干燥空气 CDA（Clean dry air）

• 低进气过滤、氮气吹扫、半导体机台气体支路终端过滤

核心性能

• 滤膜：疏水 PTFE（氟聚合物）

• 颗粒截留效率：＞99.9999999%，拦截大于 0.0015 μm的颗粒（最易穿透粒径测试验证）

• 最高工作温度：50℃

• 最大操作压力：0.41 MPa（4.1 bar）

GT-Plus（30 slpm）

• 壳体材质：PFA

• 膜面积：12 cm²

• 接口：1/8"、1/4" 卡套密封

• 正向最大压差：0.34 MPa

• 外径：21.5 mm

GTL（80 slpm）

• 壳体材质：聚砜 Polysulfone

• 膜面积：25 cm²

• 接口：Rc 1/4（PT 1/4 内牙）、1/4" NPT 内螺纹

• 外径：25 mm

型号编码

• GT-Plus：WGFG 01K（1/8"）、WGFG 21K（1/4"）；P3=3 支 / 包，P0=10 支 / 包

• GTL：WGFG 01D SH（Rc1/4）、WGFG 01D S0（1/4"NPT），10 支 / 包

• 配套配件：JPMFJK001（1/4" PFA 卡套螺母）

特点总结

1. 终端 POU 过滤：安装在机台用气点，就近除颗粒，降低管路污染风险

2. 疏水 PTFE 膜，耐惰性气体、不易吸附水汽

3. 体积小巧，适配半导体设备紧凑气路

4. 两个规格覆盖中小流量，选型简单，性价比高

半导体晶圆供气微颗粒拦截气体过滤器 Wafergard GT-PLUS/GTL 采用疏水 PTFE 滤膜，用于惰性气体、CDA 洁净干燥空气使用点颗粒过滤，可高效截留超细颗粒物。分 30slpm、80slpm 流量规格，适配晶圆传输系统，主要服务半导体行业，在机台末端实现低成本 POU 净化，保护晶圆，降低制程污染风险。

半导体晶圆供气微颗粒拦截气体过滤器 Wafergard GT-PLUS/GTL 采用疏水 PTFE 滤膜，用于惰性气体、CDA 洁净干燥空气使用点颗粒过滤，可高效截留超细颗粒物。分 30slpm、80slpm 流量规格，适配晶圆传输系统，主要服务半导体行业，在机台末端实现低成本 POU 净化，保护晶圆，降低制程污染风险。