日本fluoro内附HEPA虑心的无油真空泵

Fluoro Mechanic 推出的 FV系列无油隔膜真空泵 是一款专为洁净环境设计的高性能真空抽取设备。该产品内置进气口和出气口两级HEPA高效过滤器，能够有效捕获99.97%粒径不小于0.3微米的微粒，确保泵体在运行过程中不会吸入灰尘或液体污染物，同时防止泵内污染物外泄，广泛应用于半导体晶圆处理、洁净室操作、精密仪器维护等对洁净度要求非常高的场景。

核心优势

1. 双重HEPA过滤保护

本产品标配内置式进气口与出气口HEPA过滤器，可捕获99.97%粒径不小于0.3微米的微粒。过滤器窗口设计让用户可以直观观察过滤器状态，及时提示更换时机，确保过滤性能始终处于最佳状态。

2. 无油设计，洁净室的理想选择

泵体采用无油润滑设计，运行过程中不会产生油雾污染，全满足洁净室（Cleanroom）的使用要求。特别适用于半导体制造、精密电子装配、生物制药等对油污敏感的工业环境。

3. 长寿命高可靠性

产品设计使用寿命超过8760小时（即连续运行超过1年），支持全天候不间断运行（Duty Cycle: Continuous），满足高强度工业生产的需求，大幅降低设备维护频率和停机成本。

4. 低噪音设计

泵体经过专门的降噪设计，在保证强劲抽气能力的同时，将运行噪音降至最的低的，为用户营造更加舒适的工作环境。

5. 防静电尼龙机身

泵体采用尼龙材质制造，具有优异的防静电性能，可有效防止静电积累对敏感电子元器件造成的损害，特别适合晶圆（Wafer）处理、SMD贴片、芯片封装等静电敏感场景。

6. 紧凑便携

产品采用紧凑化设计，体积小巧、重量轻便，便于携带和在不同工位间灵活移动，适合空间有限的操作环境。

产品型号与规格

另有240VAC版本可供选择（FV-30-240、FV-60-240），满足不同地区的电源标准。

适用场景

• 半导体晶圆处理：硅晶圆搬运、晶圆切割、薄膜厚度测量等工艺

• 洁净室操作：无尘环境下的真空吸附、精密零件拾取与放置

• SMD贴片生产：元器件真空吸笔拾放、PCB板真空固定

• die handling（芯片搬运）：裸芯片的真空拾取与定位

• 实验室设备：分析仪器配套真空泵、真空吸附夹具

• 薄膜制备：真空蒸镀、溅射等工艺中的真空抽取

可选配件

选购建议

• 如需处理6英寸及以下晶圆，或对真空度要求不高的场景，推荐选择 FV-30 型号，体积更小、重量更轻。

• 如需处理8英寸或12英寸晶圆，或需要更高真空度的场景，推荐选择 FV-60 型号，抽气能力更强。

• 请根据当地电源标准选择110V或220V版本。

总结

Fluoro Mechanic FV系列无油隔膜真空泵凭借其内置HEPA双重过滤、无油洁净设计、长寿命高可靠性以及防静电机身等核心优势，成为半导体制造、洁净室操作及精密电子装配等领域中值得信赖的真空处理设备。无论是日常生产还是实验室研发，该产品都能提供稳定、洁净、安静的真空抽取解决方案。

日本fluoro内附HEPA虑心的无油真空泵 FV-30/FV-60 用于构建洁净、无污染的负压环境，实现真空抽滤、干燥、浓缩及气体采样等功能。广泛适用于生物医药、精细化工、环境监测、食品检验、半导体制造及精密分析仪器配套等行业，满足高洁净度与免维护需求。

日本fluoro内附HEPA虑心的无油真空泵 FV-30/FV-60 用于构建洁净、无污染的负压环境，实现真空抽滤、干燥、浓缩及气体采样等功能。广泛适用于生物医药、精细化工、环境监测、食品检验、半导体制造及精密分析仪器配套等行业，满足高洁净度与免维护需求。