Osaka Vacuum FPD制造设备球轴承分子泵

TG60F 是由 Osaka Vacuum, Ltd.（大阪真空株式会社）研发制造的一款高性能球轴承型涡轮分子泵（Grease-lubricated ball bearing type Turbo Molecular Pumps）。该系列产品专为满足现代精密真空系统的需求而设计，凭借其紧凑的尺寸、卓的越的节能特性以及非常高的可靠性，在各类高真空应用中表现出色。TG60F 提供集成控制器类型（TG60F）与机架式类型（TG60F-20）两种配置，并通过了 NRTL、SEMI-S2 及 CE 等安全标准认证（适用于 TG60F-20），确保了设备在全球范围内的合规性与安全性。

产品特点

TG60F 系列分子泵在设计上融合了多项先进技术，旨在为用户提供高效、稳定且易于维护的真空解决方案：

• 全向安装能力：支持任意方位安装，极大提升了系统布局的灵活性，适应复杂的现场空间限制。

• 紧凑与节能：采用轻量化与紧凑化设计，不仅节省安装空间，还具备出色的节能表现，降低运行成本。

• 快速响应机制：具备快速启动功能，通常仅需 1.5 至 2 分钟即可达到工作转速；同时支持带气体通风的快速停机，有效缩短维护等待时间。

• 高耐用性结构：针对意外进气情况设计了耐进气结构，增强了泵体在异常工况下的生存能力与稳定性。

• 卓的越的真空性能：提供高压缩比与低极限压力，确保在高真空及超高真空环境下的稳定抽气性能。

应用领域

凭借其优异的性能与广泛的适应性，TG60F 系列分子泵被广泛应用于以下高精尖行业：

• 半导体生产：满足芯片制造过程中对洁净度与真空度的严苛要求。

• FPD 制造：适用于平板显示器生产线的真空镀膜与刻蚀工艺。

• 电子元件制造：为各类电子元器件的生产提供稳定的真空环境。

• 分析测试设备：作为质谱仪、电子显微镜等精密分析仪器的核心真空获取设备。

• 研发与实验室：为科学研究与前沿技术开发提供可靠的真空基础。

技术规格

以下为 TG60F 系列分子泵的核心技术参数，供选型参考：

控制器说明

TG60F 系列根据型号不同，配备了专用的控制器以确保最佳运行状态：

• TC65 控制器（适用于 TG60F）：

◦ 输入电源：DC 24V，无相数要求。

◦ 输出性能：额定输出频率 1150Hz，输入功率 120VA(W)。

◦ 通信接口：支持并行 I/O 通信。

◦ 物理规格：无重量（集成式）。

• TC66 控制器（适用于 TG60F-20）：

◦ 输入电源：AC 100-230V，单相，50/60Hz。

◦ 输出性能：额定输出频率 1150Hz，输入功率 240VA。

◦ 通信接口：支持并行 I/O 通信。

◦ 物理规格：重量 2.4kg。

标准配件：每套设备均包含输入连接器 ×1、远程连接器 ×1 及说明书 ×1。

环境条件与使用须知

为确保设备的最佳性能与使用寿命，请遵循以下环境与操作规范：

• 环境温度要求：在保证极限压力性能时，环境温度需保持在 10~23°C；设备允许的工作温度范围为 8~38°C。

• 适用气体说明：虽然 TG60F 具备广泛的适用性，但某些特定气体可能会损坏轴承润滑脂或内部组件。在抽取非标准气体前，请务必联系制造商确认可用气体类型，以免造成不可逆的损坏。

 Osaka Vacuum  FPD制造设备球轴承分子泵  TG60F  是一款紧凑型高真空泵，主要用于半导体、FPD面板及电子元件制造中的高真空抽气，也适用于分析测试设备与科研研发。其耐冲击、小巧节能的设计，使其特别适合移动设备或分析仪器使用。

 Osaka Vacuum  FPD制造设备球轴承分子泵  TG60F  是一款紧凑型高真空泵，主要用于半导体、FPD面板及电子元件制造中的高真空抽气，也适用于分析测试设备与科研研发。其耐冲击、小巧节能的设计，使其特别适合移动设备或分析仪器使用。