osakavacuum 半导体材料研究涡轮分子泵

ST SERIES 是由大阪真空（Osaka Vacuum, Ltd.）推出的紧凑型涡轮分子泵系统，专为高真空抽气应用设计。该系统高度集成了 TG-F 系列涡轮分子泵与干式真空泵（DSP251），将高真空抽气所需的所有关键组件整合于一体。用户仅需简单操作，即可快速、稳定地实现高真空环境，是实验室及工业现场理想的真空解决方案。

核心特点

• 一体化紧凑设计：集成高真空抽气所需全部关键组件，结构紧凑，节省安装空间。

• 操作简便高效：系统逻辑优化，通过简单操作即可实现高真空抽气，降低使用门槛。

• 移动便捷灵活：配备高品质脚轮，可轻松移动至任意工作位置，适应多工位需求。

• 高抗冲击性能：采用 TG-F 系列涡轮分子泵，具备卓的越的外部冲击耐受性，甚至可在运行过程中安全移动。

• 丰富可选配件：支持根据具体应用需求选配各类附件，灵活扩展系统功能。

技术规格

标准配置

ST SERIES 出厂即包含以下标准组件，确保开箱即用：

• 涡轮分子泵：TG220F ～ TG450F

• 前级泵：干式真空泵（DSP251）

• 控制器：ST 控制器

• 真空配件：软管、弯头、卡箍等

• 阀门：自动慢漏阀

• 机架：铝合金框架（带脚轮）

注意：系统配备油雾分离器；入口过滤器不包含在标准配置中，需另行选配。

尺寸规格

定制服务说明

除标准配置外，大阪真空提供灵活的定制服务，可根据用户的具体工艺需求、空间限制或特殊接口要求，定制专属的泵系统方案，确保真空系统与应用场景完的美的匹配。

制造商信息

• 制造商：大阪真空株式会社（Osaka Vacuum, Ltd.）

osakavacuum 半导体材料研究涡轮分子泵 ST220F/ST350F/ST450F 涡轮分子泵系统集成TG-F系列涡轮分子泵与干式真空泵，实现高真空快速抽气，支持运行中移动，操作简便。广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、表面分析、材料研究、真空镀膜及电子显微镜等需要高真空环境的工业与科研领域。

osakavacuum 半导体材料研究涡轮分子泵 ST220F/ST350F/ST450F 涡轮分子泵系统集成TG-F系列涡轮分子泵与干式真空泵，实现高真空快速抽气，支持运行中移动，操作简便。广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、表面分析、材料研究、真空镀膜及电子显微镜等需要高真空环境的工业与科研领域。