technomate 半导体超纯水湿法工艺增压泵

这是日本 TECHNOMATE（泰克诺美特）纯水专用增压泵机组，型号 PU-300A，多用于半导体、纯水循环、湿法工艺等对洁净度有要求的纯水增压场景，整机不锈钢柜体集成化设计，自带旁路保护与温控保护。

核心参数

• 适用介质：纯水

• 泵体：丸山制作所 10-RXAS-040TE

• 流量压力：50Hz：13L/min，最高 0.5MPa60Hz：16L/min，最高 0.5MPa

• 供电：AC200V，2.6A，1.2kVA

• 接口：进水 / 出水 Rc1/2（4 分锥管螺纹）

• 外形尺寸：宽 228× 高 336× 深 520mm，重量 25kg

• 壳体材质：SUS304 不锈钢抛光

• 使用环境：室内，温度 10~35℃，湿度 30~80%

特色功能 & 保护机制

1. 内置旁路泄压保护：外部后端阀门关闭、负载切断时，0.45MPa 自动开启内部旁路循环，防止憋压损坏泵，支持短时间无输出连续运行。

2. 高温保护：旁路循环持续升温至 50℃时，温控开关触发，整机停机，避免纯水过热、泵体干烧损坏。

3. 两种控制模式

• 远程控制：DC24V/100mA 信号启停，适配自动化产线 PLC 联动；

• 手动控制：保持远程信号接通，依靠球阀手动开关启停，正面调压旋钮可调节输出水压。

4. 洁净适配：整机适配纯水，无容易污染水质的结构，适合超纯水、纯水输送增压。

安装要点

• 推荐软管内径≥15mm；

• 严禁空转，开机前必须灌满引水；

• 进水压力不能超过 0.35MPa；

• 电源配线≥0.75mm²。

典型应用场景

半导体湿法清洗、纯水循环供给、实验室纯水增压、洁净工艺水路增压等只输送纯水、需要自动化联动稳压的工况。

易损件

泵本体（10-RXAS-040TE）为唯的一的消耗件，故障时直接更换泵组件。

优缺点小结

✅ 优点：集成式一体机组、自带压力 + 温度双重保护、可 PLC 远程信号控制、不锈钢洁净外壳、纯水专用； 

⚠️ 局限：只支持纯水介质、不能干转、进水压力上限 0.35MPa，属于工艺配套增压单元，不是通用水泵。

technomate 半导体超纯水湿法工艺增压泵 PU300A/PU201A/UPPU-10LR 用于纯水增压输送，内置溢流、温控保护，支持 DC24V 远程启停，可应对后端负载切断工况。适用于半导体湿法工艺、纯水设备配套、超纯水供给、实验室纯水循环等行业，SUS304 材质，适配洁净纯水输送场景。

technomate 半导体超纯水湿法工艺增压泵 PU300A/PU201A/UPPU-10LR 用于纯水增压输送，内置溢流、温控保护，支持 DC24V 远程启停，可应对后端负载切断工况。适用于半导体湿法工艺、纯水设备配套、超纯水供给、实验室纯水循环等行业，SUS304 材质，适配洁净纯水输送场景。