White Knight（固瑞克 Graco 旗下）PEM050 超高纯多端口电子计量泵

PEM050 是一款面向半导体、光伏、平板显示等高洁净制程的无金属超高纯电子计量泵，专门用来精准输送、加注腐蚀性高纯化学品，是单晶圆工艺、化学配液系统的核心加药设备。

核心优势

1. 超高计量精度单次冲程出液范围 1–50 mL，满量程重复精度可达 ±0.01%，冲程长度、冲程速度均可电控调节，支持精准微量配液、化学增补。最高循环 6 次 / 分钟。

2. 全 PTFE 无金属流道（最大亮点）所有过流接触面全部是 PTFE，无任何外露金属接触药液，搭配全扫式流道 + PTFE 滚动隔膜，杜绝金属析出污染、耐强腐蚀，适配光刻胶、酸、碱等高纯湿电子化学品；最高耐温 100℃，输出压力最高 55 psi（3.8 bar）。

3. 多端口灵活配置流体端口可选 2~6 端口版本，一台泵可做多通路分配；自带可编程回吸功能，有效防止滴液、挂液，减少药液浪费与晶圆污染。

4. 工业通讯集成能力强支持串口、以太网，以及 0–5V/0–10V/4–20mA 模拟信号，可直接接入工厂自动化系统，适配洁净室自动化产线。

5. 安装与运维友好支持任意方位安装、自吸结构、体积紧凑，残余容积小；快换式结构，维护拆装简单；可选泄漏检测；自带单向阀，防止药液回流。

6. 质保：1 年质保 / 50 万次循环寿命，通过 CE 认证，洁净室组装测试包装。

适用行业

半导体、LED / 电子、平板显示、光伏太阳能

典型应用

单晶圆清洗设备、化学试剂分配、药液补给、精准加药、化学品混配、预混罐配液、化学微量增补（spiking）

关键参数速览

• 单次出液：1~50 ml / 冲程

• 重复精度：±0.01%

• 最大排出压力：55 psi（3.8 bar）

• 流体材质：PTFE

• 介质温度：0~100℃

• 吸程：4.6 m

• 通讯：RS485 串口、以太网、4-20mA 等模拟量

• 阀驱动气压：60~80 psi

WK 半导体湿制程精准加药超高纯计量泵 PEM050/PPM100 全 PTFE 无金属流道，可精准输送 1–50ml 腐蚀性高纯药液，计量精度高、支持可编程回吸与自动化通讯，用于化学品分配、补液、混配加药等工艺，广泛应用于半导体、LED 电子、平板显示、光伏太阳能等高洁净制程。

WK 半导体湿制程精准加药超高纯计量泵 PEM050/PPM100 全 PTFE 无金属流道，可精准输送 1–50ml 腐蚀性高纯药液，计量精度高、支持可编程回吸与自动化通讯，用于化学品分配、补液、混配加药等工艺，广泛应用于半导体、LED 电子、平板显示、光伏太阳能等高洁净制程。