Ebara 光伏半导体Load Lock应用干式真空泵

Ebara Technologies Inc. 是一家专业的真空技术公司，长期致力于为半导体、光伏及通用真空市场提供卓的越的解决方案。其通用真空干式泵产品线定位为紧凑型、节能且无油的真空解决方案，专为安静、低维护的运行环境而设计。该系列产品广泛适用于清洁环境及轻工业领域，是分析应用和通用真空场景的理想选择。

产品系列介绍

Model EV-PA系列

EV-PA系列采用超紧凑型设计，尺寸仅为 482 x 189 x 252 mm，机身非常轻便，完的美的适配小型台式或移动系统。该系列主打静音运行，噪音低于 58 dB(A)，且具备零维护周期（>3年），无需年度维护。作为一款风冷干式泵，它无油且节能，能够有效替代传统嘈杂且高维护的旋片泵和油封泵。凭借低拥有成本和更高的投资回报率（ROI），EV-PA系列非常适合负载锁、电子显微镜、质谱仪及其他分析仪器的所有轻载应用。

Model EV-A / EV-SA系列

EV-A / EV-SA系列提供 1000 至 4400 L/min（36 cfm 至 160 cfm）的抽速范围，极限压力可低至 7.5 mTorr 或 1 Pascal。该系列采用风冷节能电机，具备行业领的先的技术规格，并承诺 >5年的零维护周期。其可靠的非接触式设计确保了无颗粒运行，专为清洁到轻载应用打造，是追求高性能与高稳定性用户的优选。

核心特点

Ebara通用真空干式泵系列具备以下共同核心优势：

1. • 无油设计：杜绝油污染，保障工艺纯净度。

2. • 低能耗：采用高效节能电机，降低运行成本。

3. • 紧凑/轻量化：小占地面积设计，节省空间。

4. • 低拥有成本：在电力、氮气、水、占地面积、体积及重量方面均实现成本优化。

5. • 高水汽抽速：有效应对含水汽的工况。

6. • 风冷设计：适用于非反应性气体，无需水冷系统。

7. • 低噪音：提供安静的工作环境。

8. • 非接触式设计：无摩擦运行，无颗粒产生。

9. • 大气压下高抽速：快速建立真空环境。

10. • 即插即用：安装灵活，部署便捷。

11. • 安全认证：通过 CE 和 NRTL 认证，符合国际标准。

应用领域

Ebara通用真空干式泵广泛应用于以下场景：

1. • 半导体制造

2. • 光伏产业

3. • 通用真空应用

4. • 分析仪器

5. • 负载锁（Load Locks）

6. • 电子显微镜

7. • 质谱仪

8. • 小型台式或移动系统

技术参数摘要

Ebara 光伏半导体Load Lock应用干式真空泵 EV-SA30 / EV-SA50 该产品主要用于提供无油、洁净的真空环境，适用于半导体、光伏、分析仪器及实验室等对洁净度要求高的行业，满足精密工艺中的真空抽取需求。

Ebara 光伏半导体Load Lock应用干式真空泵 EV-SA30 / EV-SA50 该产品主要用于提供无油、洁净的真空环境，适用于半导体、光伏、分析仪器及实验室等对洁净度要求高的行业，满足精密工艺中的真空抽取需求。