fukuda-jp测量超微泄漏MUH-0100系列

更新时间：2024-06-11

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测量超微泄漏

MEMS元件和小型电子元件，如角速度传感器和红外图像传感器，必须多年保持其内部密封性能，并要求具有高水平的气密性。

福田开发了一种称为“胶囊累积法"的高灵敏度氦气泄漏检测技术，用于测量超微量泄漏。

MUH-0100系列是一款采用“胶囊累积法"的气密性检测装置，专用于测量超微量泄漏。

测量范围：

传统方法中，考虑背景效应时，氦气泄漏量约为10 -10 Pa·m 3 / s（He），但采用本技术）可以测量泄漏量

fukuda-jp测量超微泄漏MUH-0100系列

什么是“胶囊堆积法"？

胶囊积聚法是一种通过在大容积“腔室"内安装小容积“胶囊"来测量氦气泄漏的方法，以检测工件（测试品）中微小的氦气泄漏。使用以下步骤 ① 至 ③ 测量小泄漏。

[测量流程]

① 将装有工件（测试品）的“胶囊"和“腔室"抽真空，封闭“胶囊"，并

　累积氦气至质谱仪可以检测到的水平。

② 打开“胶囊"，将“胶囊"内的气体释放到“腔室"中。

③扩散的氦气变成分子流，通过“孔径"，被质谱仪测量。

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“胶囊堆积法"的特点

显着降低背景。

能够检测超微量氦气泄漏。

氦气泄漏测定能力*4×10 -15 Pa・m 3 /s (He) ~

*当存储时间为2小时时。

这取决于爆炸条件、胶囊尺寸和静置时间等测试条件。

减少氦气以外可能导致错误的气体的影响，

无需加热器或低温泵，启动时间和维护

与常规氦检漏仪相同。

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测量超细泄漏时的注意事项

关于封装材料：

如果封装或接合表面材料含有玻璃，氦气会透过并粘附在玻璃上。请提前注意使用的材料。允许的氦气渗透量和附着量必须约为测量泄漏量的 1/10 或更少。

关于粗漏如果存在粗漏，工件内部的氦气会在短时间内逸出

，使得精漏测量值不准确/ s（等效标准泄漏率）。对于大泄漏测量，请使用推荐的粗泄漏测试系统。确保试件内容积为0.1mm3以上。