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    TK-100tekhne 在线露点仪 半导体 气体纯度控制

    半导体行业:在半导体制造中,TK-100露点计用于洁净室和干燥室的管理,确保湿度控制在35%-65% RH范围内,防止芯片腐蚀或显影液挥发引发表面凝结水问题,从而保证工艺稳定性1。此外,它还用于高纯度气体(如氨气、氩气)的微量水分管理,避免水分污染影响晶圆制造 tekhne 在线露点仪 半导体 气体纯度控制

    更新时间:2025-06-13
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