晶圆传输LCD面板制造机器人真空耐高温轴承

主要特点 (Feature)

• 内圈、外圈和滚珠：采用马氏体不锈钢 (Martensitic stainless steel)，硬度高、耐磨。

• 保持架和防尘盖：采用奥氏体不锈钢 (Austenitic stainless steel)，具有良好的耐腐蚀性。

• 特殊涂层：凝胶状特殊涂层被应用在滚珠以及内外圈的滚道上。

卓的越的性能 (Performance)

1. 极的高的洁净度：可达到洁净度等级10 (Cleanliness class 10)，微粒排放量减少50%。

2. 耐受严苛环境：能在真空和高温环境下稳定运行，气体排放量极低（在150℃时为 ${10}^{-5}$ Pa）。

3. 超长寿命：使用寿命是传统洁净轴承的10倍以上。

应用领域 (Applications)

• 半导体制造设备：晶圆传输机器人、步进光刻机、晶圆检测扫描电镜（SEM）等。

• LCD面板制造设备：LCD面板传输机器人、LCD面板清洗设备（干式条件）等。

• 硬盘制造设备：溅射镀膜设备、清洗设备（干式条件）等。

JTEKT Cologuard Pro -ZO 晶圆传输LCD面板制造机器人真空耐高温轴承 其核心用途是在晶圆传输、光刻及清洗等高洁净度设备中，通过极低微粒与气体排放，防止产品污染。该产品能显著提升良品率，降低维护成本，适用于真空及高温严苛环境。

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