kitzsct 半导体高纯气体低微粒低泄漏隔膜阀

这是一款高压金属隔膜阀（ダイヤフラムバルブ），主打半导体、高纯气体管路，最高耐压 20.6MPa(G)，分为 RD 系列、NRD 两大系列，有自动气动阀、手动阀两种驱动形式，适配小流量到大流量多种工况。

产品系列一览

简单区分：NRD 是升级款，RD 是基础款；NRD 支持更高 Cv、紧凑轻量化设计。

核心特点

1. 纤薄紧凑设计采用新型高出力气动执行器 + 内螺纹阀体结构，体积小巧，节省柜内空间，适合高密度气路盘柜布局。

2. 高流量版本可选

• 1/4" NRHD4：Cv=0.25

• 1/2" NRHD8：Cv=1.0，大流量规格；手动款采用省力结构，手柄操作力矩低。

3. 弹簧加载隔膜结构全系列采用弹簧复位隔膜结构，低微粒产生，满足高纯气体、半导体洁净管路要求，隔膜材质为钴基合金。

4. 密封垫片多材质可选：PCTFE / PI / PVDF，适配不同流体温度。

5. 高密封性内漏、外漏指标均 ≤ \(1×10^\ \mathrm{Pa\cdot m^3/sec}\)，超高真空级密封。

技术规格（重点）

• 最高使用压力：20.6 MPa(G)（正压、反向承压同样支持）

• 驱动方式：气动自动阀 / 手动阀（90° 开关、270° 开关两种手动结构）

• 气动驱动压力：0.4~0.7MPa (G)（部分型号 0.55~0.7MPa）

• 耐久寿命：自动阀最高可达 10 万次；手动阀 2 万～5 千次（依型号不同）

• 流体温度范围：

• PCTFE：-10～150℃

• PI：-10～150℃

• PVDF：-10～42℃

• 环境温度：-10～60℃（垫片材质不同有差异）

阀体洁净等级（Grade）

SEP 等级是半导体特气常用高纯材质，杂质含量更低。

可选附加配置

1. 高压气体大臣认定品：可取得日本高压气体法规认证（N 弁類、N-II 継手類等），用于日本境内高压特气工程，需要单独申请认证文件。

2. 特殊流路、集成块阀（ブロックバルブ）：可定制非标接口、多联集成阀块、特殊接头形式。

适用场景

半导体工艺气体管路、高纯特种气体、高压供气面板、气体柜（GC）、气瓶柜，高纯流体控制，适合高压、洁净、低微粒、低泄漏要求的工况。

⚠️ 注意：该阀不能用于真空容器内安装，是高压供气侧阀件，不是真空阀。

驱动分类

• 自動弁（气动隔膜阀）：NRCD4C / NRD4C / NRHD4C / NRMD8C / NRHD8C

• 手動弁（手动隔膜阀）：

• 270° 开关：NRCD4M / NRD4M / NRHD4M

• 90° 开关：NRCD4Q / NRD4Q

kitzsct 半导体高纯气体低微粒低泄漏隔膜阀 NRD4CSI-V8C-EP-316L 最高耐压 20.6MPa，分为气动自动款、手动款，采用弹簧钴合金隔膜结构，低微粒、低泄漏。提供 STD/EP/SEP 多种洁净等级，适配高纯特种气体控制，主要用于半导体、特气供气面板、气体柜、气瓶柜等高纯高压流体管路，可定制阀块及高压气体认证版本。

kitzsct 半导体高纯气体低微粒低泄漏隔膜阀 NRD4CSI-V8C-EP-316L 最高耐压 20.6MPa，分为气动自动款、手动款，采用弹簧钴合金隔膜结构，低微粒、低泄漏。提供 STD/EP/SEP 多种洁净等级，适配高纯特种气体控制，主要用于半导体、特气供气面板、气体柜、气瓶柜等高纯高压流体管路，可定制阀块及高压气体认证版本。