Entegris 半导体超高纯PTFE微型气体过滤器

Wafergard® II F 是英特格（Entegris）面向超高纯气体管路开发的微型 PTFE 膜式在线气体过滤器，主打纳米级颗粒拦截，适配半导体工艺气体、臭氧、生命科学等高洁净工况，是气柜、机台内部狭小空间点位过滤的主流选型Entegris。

核心材质与过滤性能

• 滤芯：疏水 PTFE 过滤膜 + PFA 支撑骨架，耐强腐蚀，适配惰性气体、各类反应性半导体工艺气体，可用于臭氧气体回路

• 壳体：VAR 316L 不锈钢，内壁电抛光，内壁光洁度≤7 μin Ra，析出极低

• 过滤精度：≥0.0015 μm（1.5nm），30 slpm 流量下颗粒去除效率＞99.9999999%（9 LRV）

• 洁净指标：下游＞0.01μm 颗粒＜0.03 颗 / 升；水分析出＜10 ppb

• 氦检标准：合格级 2×10⁻¹⁰ cc/sec，测试级 1×10⁻⁹ cc/sec，密封性优异

工况参数

• 最大入口压力：207 barg（3000 psig，23℃）

• 正向压差上限：4 bar；反向压差上限仅 0.07 MPa（0.7bar），管路设计必须规避反压

• 最高工作温度：120℃

• 结构优势：低压降设计，减少低蒸气压工艺气体冷凝风险；外径仅 19.05mm，体积紧凑，适合气面板、气柜、设备内部狭窄位置安装

• 生产标准：洁净室内完成焊接、清洗、检测，出厂自带高洁净度

应用场景

1. 半导体超高纯气体管路、气柜、气路面板、机台工艺端

2. 气态臭氧输送系统

3. 生命科学高纯供气系统

接口型号（全部 1/4" 规格）

和同系列区分（选型避坑）

• Wafergard II F Micro：本款，PTFE 膜、微型小巧款，适合机台 / 气柜点位过滤

• Wafergard II F-1500：大流量版本，用于主管路，外形尺寸、耐压不同

• Wafergard II SF：全金属烧结滤芯款，无 PTFE 膜，不能用于臭氧。

Wafergard II F WG2FT1BW2 Entegris 半导体超高纯PTFE微型气体过滤器 采用 PTFE 膜，可拦截≥0.0015μm 颗粒，低压降设计，适配高纯惰性、反应性工艺气体。多用于半导体超高纯气路、气柜面板、臭氧供气、生命科学管路，洁净室生产，适合狭小空间机台内点位过滤，保障气体洁净度。

Wafergard II F WG2FT1BW2 Entegris 半导体超高纯PTFE微型气体过滤器 采用 PTFE 膜，可拦截≥0.0015μm 颗粒，低压降设计，适配高纯惰性、反应性工艺气体。多用于半导体超高纯气路、气柜面板、臭氧供气、生命科学管路，洁净室生产，适合狭小空间机台内点位过滤，保障气体洁净度。