可复用高温半导体湿法腐蚀药液过滤器外壳

LTFH 是 Process Technology 推出的可复用高温 PTFE 滤壳，采用厚壁 PTFE 氟塑料作为润湿接触面，专为高温强腐蚀化学品连续过滤工况设计，是半导体湿法工艺常用单芯滤壳。

产品结构与原理

整机所有与液体接触部位为100% 厚壁 PTFE，采用旋环锁扣结构，配套专用扳手；滤筒滑入壳体后通过旋环组件锁紧密封。支持直立 / 倒装两种安装方式，可选配套安装支架。适配 222 O-ring SOE 滤芯，更换滤芯时无需拆卸流体管路，减少停机时间。

核心产品特点

1. 超的强的耐化学腐蚀全部润湿面为 PTFE 材质，几乎兼容所有化学药液；厚壁结构，使用寿命显著优于薄壁 PFA 滤壳。

2. 创新旋环密封设计旋环组件保障稳定密封，不会损伤壳体 O 型圈；滤芯卡环设计，更换滤芯所需维护空间更小。

3. 低使用成本壳体可重复长期使用，仅更换滤芯，无需整壳替换，降低长期拥有成本。

4. 维护便捷换芯无需拆开流体管路，缩短维修停机时间 MTTR；标配扳手，拆装简单。

5. 高温耐腐蚀工况适配专为高温腐蚀性化学品连续过滤场景打造，重载结构稳定可靠。

规格参数

• 材质：润湿面 100% 厚壁 PTFE 氟聚合物

• 连续工作压力：2.75 bar（40PSI）

• 适配滤芯：70mm / 83mm 直径，长度可选 10 英寸、20 英寸、30 英寸，222 O-ring SOE 滤芯

• 流体接口：Flaretek®、Super 300 Type Pillar® 接头，规格 1/8"~1"

• 安装方式：直立安装或倒装，支架可选

型号编码规则

LTFH - 直径 - 长度 - 进出口接口 - 腔端接口 - 顶部排气接口

• 直径：70=70mm 滤芯，83=83mm 滤芯

• 长度：10=10 英寸，20=20 英寸，30=30 英寸

• 接口：A/B/C/S/T/V/W/X/Y/Z/2/3 代表不同 Flaretek 与 Super300 接头规格，0 代表无接口

应用行业

半导体、光伏、精细化工，用于湿法刻蚀、清洗工艺里高温强腐蚀药液过滤。

ProcessTech LTFH-7010BAZ 可复用高温半导体湿法腐蚀药液过滤器外壳 厚壁 PTFE 全润湿面，适配强腐蚀高温化学品连续过滤，兼容 222 SOE 滤芯。滤芯更换无需拆卸管路，壳体可反复使用，适配半导体、光伏湿法工艺，用于酸洗、刻蚀等腐蚀性药液过滤净化。

ProcessTech LTFH-7010BAZ 可复用高温半导体湿法腐蚀药液过滤器外壳 厚壁 PTFE 全润湿面，适配强腐蚀高温化学品连续过滤，兼容 222 SOE 滤芯。滤芯更换无需拆卸管路，壳体可反复使用，适配半导体、光伏湿法工艺，用于酸洗、刻蚀等腐蚀性药液过滤净化。