半导体晶圆清洗蚀刻在线药液管道加热器

SHB/SHC 是 Process Technology 品牌的低功率管道式化学 / 溶剂间接加热器，采用间接加热方案，温控稳定，专为半导体湿法工艺的化学品、溶剂加热设计。

核心原理

采用PTC 自限温加热技术，内置多路冗余温度传感器，在低流量、断流工况下也能安全运行，属于非直接接触式间接加热，加热元件不与药液直接接触。

产品特点

1. 安全设计

• 专门用于加热化学品与易燃溶剂，间接接触式换热，规避腐蚀、起火风险

• 冗余温度传感器，PTC 自限温作为标准配置，过热自动限制功率

• 满足 CE、ETL、UL823、UL499、CSA C22.2 安全认证

2. 高洁净性能

• 无 O 型圈、无盲区结构，消除微粒污染来源，适配半导体高洁净要求

• SHB 系列：电解抛光 316SS湿接材质，用于各类溶剂

• SHC 系列：PTFE+PFA氟聚合物湿接材质，用于酸类、溶剂

3. 稳定性能

• 精准稳定控温

• 低功率密度设计，降低表面温度，减少药液热降解风险

适用介质与应用场景

• 兼容介质：酸、水、碱、溶剂；不可用于气体

• 典型应用：

• 半导体晶圆清洗

• 蚀刻工艺

• 在线化学品管路加热

技术规格

型号编码规则

SH C - .875 - 1 - 1 - V

1. SH：产品系列（Solvent 溶剂型）

2. B/C：湿部材质

• B = 电解抛光 316 不锈钢（SHB）

• C = 氟聚合物 PTFE/PFA（SHC）

3. 功率代码：.25=250W、1=1000W、2=2000W 等

4. 电压代码：1=208V、2=240V、12=120V 等

5. 相数：1 = 单相

6. 管路接口：O/Q/R/T/V 对应不同规格 Super 300 Pillar 接头

尺寸

不同功率对应整机长度不同：250W 长度 187mm，最高 2000W 版本长度 486mm；底部带工艺进 / 出口，顶部两处电缆接线毂。

适用行业总结

主要用于半导体湿电子化学品在线加热，在晶圆清洗、蚀刻制程中，安全稳定加热酸、碱、水、有机溶剂，无盲区洁净结构，适配高要求的半导体湿法工艺。

PROCESS SHC.875-11V 半导体晶圆清洗蚀刻在线药液管道加热器 管道式化学溶剂加热器，采用间接加热，适配酸、碱、溶剂、纯水。SHB 电解抛光 316SS，SHC 为 PTFE/PFA 湿面，无盲区洁净结构。用于半导体行业晶圆清洗、蚀刻、在线药液加热；搭载 PTC 自限温与冗余测温，低流量工况仍安全稳定。

PROCESS SHC.875-11V 半导体晶圆清洗蚀刻在线药液管道加热器 管道式化学溶剂加热器，采用间接加热，适配酸、碱、溶剂、纯水。SHB 电解抛光 316SS，SHC 为 PTFE/PFA 湿面，无盲区洁净结构。用于半导体行业晶圆清洗、蚀刻、在线药液加热；搭载 PTC 自限温与冗余测温，低流量工况仍安全稳定。