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MIYUKI 气动真空闸阀 半导体镀膜真空环境用

  • 产品型号:美幸辉 L-I63/L-J65/L-I250
  • 更新时间:2026-07-15

简要描述:MIYUKI 气动真空闸阀 半导体镀膜真空环境用 美幸辉 L-I63/L-J65/L-I250,这款产品是日本美幸辉(Miyuki)生产的L系列气动闸阀,属于一种用于真空环境的工业阀门。它主要用于在真空管道系统中控制气体的通断,凭借其低颗粒产生、高密封性和紧凑设计,广泛适用于半导体制造、镀膜设备等对洁净度要求非常高的高科技行业。

产品详情
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域环保,化工,能源,电子/电池,综合
这款产品是日本 株式会社美幸辉 (Miyuki) 生产的 L系列 气动闸阀 (Air-driven Gate Valve)。它是一款专为真空环境设计的阀门,主打高性价比和通用性。其设计亮点在于阀体厚度较薄,这有助于实现管道系统的紧凑化,并提升排气性能。

MIYUKI 气动真空闸阀 半导体镀膜真空环境用


产品特点

  • 低颗粒产生:除了密封动作外,阀瓣(阀门开关部件)不会与阀体外壳接触,从而减少了颗粒物的产生。

  • 优异的密封性:阀瓣采用等间距滚珠按压式密封结构,在反向压力下也能保持出色的密封效果。

  • 低气体释放:不锈钢阀体外壳由抛光板材通过真空钎焊制成,消除了内部死角,降低了气体释放量。

  • 轻量化设计:阀瓣采用铝合金材质,实现了整体轻量化。


产品规格

项目规格
法兰形式JIS・ISO
公称通径65A ~ 250A
泄漏率阀体:≤ 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s
阀座:≤ 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s
阀杆:≤ 1×10⁻⁸ Pa·m³/s
使用压力范围10⁵ ~ 10⁻⁵ Pa
接气部材质SUS304、铝合金
阀杆密封氟橡胶O型圈(直动式)
驱动方式气动驱动
工作气压0.4 ~ 0.6 MPaG
阀门开启时允许压差3000 Pa 以下
开闭状态显示带磁性接近开关(可检测开/闭位置)
请注意:以上规格可能因产品改进而变更,恕不另行通知。该公司也支持特殊规格产品的定制。


MIYUKI 气动真空闸阀 半导体镀膜真空环境用 美幸辉 L-I63/L-J65/L-I250,这款产品是日本美幸辉(Miyuki)生产的L系列气动闸阀,属于一种用于真空环境的工业阀门。它主要用于在真空管道系统中控制气体的通断,凭借其低颗粒产生、高密封性和紧凑设计,广泛适用于半导体制造、镀膜设备等对洁净度要求非常高的高科技行业。

MIYUKI 气动真空闸阀 半导体镀膜真空环境用 美幸辉 L-I63/L-J65/L-I250,这款产品是日本美幸辉(Miyuki)生产的L系列气动闸阀,属于一种用于真空环境的工业阀门。它主要用于在真空管道系统中控制气体的通断,凭借其低颗粒产生、高密封性和紧凑设计,广泛适用于半导体制造、镀膜设备等对洁净度要求非常高的高科技行业。



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