ProSys仪器MegPie V3兆声波Megasonic换能器

产品型号：
更新时间：2026-06-10

简要描述：ProSys仪器MegPie V3兆声波Megasonic换能器，该产品主要用于半导体制造中的晶圆清洗和声化学处理。

品牌	其他品牌	产地类别	进口
应用领域	环保,化工,能源,电子/电池,综合

ProSys 公司的一款名为 MegPie™ V3 的兆声波（Megasonic）换能器产品。该产品主要用于半导体制造中的晶圆清洗和声化学处理。

ProSys仪器MegPie V3兆声波Megasonic换能器

产品简介

MegPie™ V3 是一款用于非接触式清洗或声化学处理的换能器。它专为处理单个旋转基板（如晶圆）而设计，能够提供径向均匀的声能剂量，从而在保证低运营成本的同时提升工艺效果。该产品被描述为 FEOL（前道工序）/ BEOL（后道工序）颗粒去除、CMP（化学机械抛光）后清洗、掩模清洗等应用的行业标准。

主要特性与优势

高效清洗能力：颗粒去除效率（PRE）≥ 98%，可去除小至 19 nm 的颗粒，且能覆盖晶圆的每一个部分。
均匀的声场分布：采用径向均匀场设计，确保晶圆表面受力均匀。
耐用且维护成本低：

平均无的故的障时间（MTBF）≥ 209,000 小时。
无预防性维护（No PM），无耗材。
300mm 晶圆的工艺流体消耗量低于 1 lpm。

先进的监测系统：配备 IMPulse™ 系统，可实时监测声剂量、反射功率、温度和电气参数，确保工艺一致性。
材料与化学兼容性：

采用单晶蓝宝石谐振器，具有零颗粒添加、无表面凹坑的优点。
也有不锈钢版本适用于溶剂应用。

关于公司

ProSys 自 1996 年以来一直是兆声波增强处理领域的全球领的导的者，专注于精密射频（RF）电子产品。

ProSys仪器MegPie V3兆声波Megasonic换能器，该产品主要用于半导体制造中的晶圆清洗和声化学处理。

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