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ayumi真空邦定设备TB-60 它是一种提高热粘合设备 TB-60 批量生产率的设备。 通过自动传输,保持键合室空气稳定,提高批量生产率。 对应最大8英寸基板的贴合。 衬底的冷却可以在真空或气体条件下进行。
ayumi真空对准设备AL-60MS 它是盒对盒系统的对齐设备。 执行加载到盒中的基板的自动对准。 夹具也装载到盒中并执行全自动对准。 也可以选择自动转移到粘合设备。
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