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日本orc半导体光刻机 PPS-8200p1/8300p1 东洋研磨材TOYO 打磨机紧凑的通用机 用途:支持各种应用 特长 -宽频谱光刻 (与菜单连动的 ghi线 gh线, i线的自动切换) -搭载可变NA功能 (可变为0.16和0.1) -最多8Field的拼接设计格式 -光学系统不受感光材挥发气体和周围环境中化学物质影响
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