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环境与安全监测仪器
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日本nasgiken简易微量金属污染物回收装置 SC系列 SC-3100 ●通过连接PC创建各种收集模式,并从硅晶片的表面和侧面(斜角部分)收集(采样)微量金属污染物。 SC-8100 ●具有即使在亲水状态的晶圆上也能收集污染物的功能,并且可以对硅以外的材料制成的晶圆或因体蚀刻等而导致表面变得粗糙的晶圆进行采样。 SC-9100 ●具有即使在亲水状态的晶圆上也能收集污染物的功能
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