日本关西电子 Survey meter 表面污染测量仪KRM 311 该设备主要用于测量表面的 β 射线和 γ 射线污染，符合日本环境省的除污指南标准。

jfe-advantech紫外线计有机污染测量装置UV-10 我们拥有堰式流量计、水位差测量装置、水位选择装置以及使用高度可靠的浸入压力式水位计支持各种用途的应用测量系统。

日本nasgiken简易微量金属污染物回收装置 SC系列 SC-3100 ●通过连接PC创建各种收集模式，并从硅晶片的表面和侧面（斜角部分）收集（采样）微量金属污染物。 SC-8100 ●具有即使在亲水状态的晶圆上也能收集污染物的功能，并且可以对硅以外的材料制成的晶圆或因体蚀刻等而导致表面变得粗糙的晶圆进行采样。 SC-9100 ●具有即使在亲水状态的晶圆上也能收集污染物的功能