Laurell 150mm晶圆 手套箱专用紧凑型旋涂仪

核心特性

• 紧凑设计：专为在手套箱内轻松安装而设计。

• 先进控制：配备无线平板电脑和专属的 Laurell Touch 过程控制软件，支持实时交互和远程操作。

• 高转速：最高转速可达 12,000 RPM（基于 ø100mm 硅片）。

• 安全密封：采用专的利的迷宫式密封，保护电机和控制电子元件免受化学污染，并可为工艺腔室提供氮气吹扫。

主要规格

• 基底尺寸：可容纳最大 ø150mm 的晶圆和 5" × 5" (127mm × 127mm) 的基板。

• 控制系统：标配无线平板控制器，也可选配 PC 端的 Spin 3000 软件进行更复杂的过程管理和模拟。

• 外壳材质：通常采用 Laurell 自家的耐溶剂、耐强酸碱的共聚物混合物制成。也可选配 PTFE 或 Teflon® 外壳，适用于高温化学工艺。

可选配置

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• 卡盘和适配器：提供多种标准和定制选项。

• 抗震安装：具备抗震底座安装功能。

• 内衬：标配可拆卸、可重复使用的 FEP Teflon® 工艺腔室内衬。

• 高性能驱动：可选配以实现更高转速。

• 集成真空发生器：无运动部件，易于清洁。

• 排气和排液选项：可根据需求定制。

• 晶圆对准工具：用于轻松将晶圆在真空卡盘上居中。

应用场景

• 涂覆 (Coating)

• 蚀刻 (Etching)

• 显影 (Developing)

• 冲洗干燥 (Rinsing-Drying)

• 清洁 (Cleaning

Laurell 150mm晶圆 手套箱专用紧凑型旋涂仪 H6-23是一款专为手套箱环境设计的紧凑型旋涂仪，主要用于在半导体、生物技术和纳米技术行业进行涂覆、蚀刻、显影、冲洗干燥和清洁等工艺。其设计能耐受溶剂、强酸和强碱，确保在受控环境中实现精确的材料处理。

Laurell 150mm晶圆 手套箱专用紧凑型旋涂仪 H6-23是一款专为手套箱环境设计的紧凑型旋涂仪，主要用于在半导体、生物技术和纳米技术行业进行涂覆、蚀刻、显影、冲洗干燥和清洁等工艺。其设计能耐受溶剂、强酸和强碱，确保在受控环境中实现精确的材料处理。