Laurell 手套箱用紧凑型旋涂机 300mm晶圆用

核心特点

• 紧凑设计：专为在手套箱内安装而优化。

• 先进控制：配备无线平板电脑和 Laurell Touch 过程控制软件，支持实时交互和远程操作。

• 高转速：最高转速可达 12,000 RPM（基于 ø100mm 硅片）。

• 大尺寸兼容：可处理最大 ø300mm 的晶圆和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板。

• 卓的越的防护：采用专的利的迷宫式密封，保护电机和控制电子元件免受化学污染，并提供氮气吹扫。

规格参数

• 最大转速：12,000 RPM

• 最大基板尺寸：ø300mm 晶圆或 9" × 9" 基板

• 控制系统：无线平板电脑，搭载 Laurell Touch 软件

• 电源要求：95 至 240VAC, 47/63HZ, ~300 瓦

• 气体要求：60–70 PSIG (4–5 bar) 的氮气或洁净干燥空气 (CDA)

• 真空要求：25–28 英寸汞柱 (约 635–711mm Hg)

可选配置

• 卡盘和适配器：提供多种标准和定制选项。

• 抗震安装：提供抗震底座安装选项。

• 高性能驱动：可实现最高 12,000 RPM 的转速。

• 集成真空发生器：无活动部件，易于清洁。

• 排气和排水选项：可根据需求定制。

• 晶圆对准工具：用于轻松将晶圆居中放置在真空卡盘上。

• 特氟龙外壳：适用于需要在高温下进行化学处理的应用。

安全特性

• 多重认证：通过 ETL、UL、CSA、CE 和 RoHS 认证。

• 安全联锁：具备 fool-proof 门联锁，在真空未启动或盖子打开时防止旋转。

• 过程保护：具备“过程保护"功能，可防止在同一基板上意外重复运行相同过程。

支持工艺

• 涂覆 (Coating)

• 蚀刻 (Etching)

• 显影 (Developing)

• 冲洗-干燥 (Rinsing-Drying)

• 清洁 (Cleaning)

Laurell 手套箱用紧凑型旋涂机 300mm晶圆用l H6-15 是一款专为手套箱环境设计的紧凑型旋涂机，用于在半导体、生物技术和纳米技术行业进行薄膜涂覆、蚀刻、显影、冲洗干燥和清洁等精密工艺。

Laurell 手套箱用紧凑型旋涂机 300mm晶圆用l H6-15 是一款专为手套箱环境设计的紧凑型旋涂机，用于在半导体、生物技术和纳米技术行业进行薄膜涂覆、蚀刻、显影、冲洗干燥和清洁等精密工艺。