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产品型号：001
更新时间：2023-05-18简要描述：ayumi超高真空全金属阀0011 密封部分采用铜垫片，具有密封边结构。拧紧力矩小。烘烤温度可高达 350°C。可在10-8Pa以下的真空度下使用。可以更换光盘。
| 品牌 | 其他品牌 | 电动机功率 | 222KW |
|---|---|---|---|
| 外形尺寸 | 156mm | 重量 | 39kg |
| 应用领域 | 环保,化工,能源,电子,综合 |
ayumi超高真空全金属阀001
ayumi超高真空全金属阀001
1 密封部分采用铜垫片，具有密封边结构。
拧紧力矩小。
烘烤温度可高达 350°C。
可在10-8Pa以下的真空度下使用。
可以更换光盘。
在半导体开发/制造过程中，去除颗粒、水分和氧气等干扰因素是一个主要问题。我们的露点计、温湿度计和氧浓度计用于半导体制造、运输和检查等各种过程，以确认消除干扰。也用于除湿空气（干燥空气）的除湿和氮气、氩气、氦气、氢气等的气体纯度测量和管理。相反，一些过程需要高水分含量，在这个过程中进行露点测量以保持水分含量恒定。主要使用以下产品。
水分测量
(1) 将水分含量控制在极小量（ppb 至 1 位数 ppm）的过程
⇒ TK-100 电容式露点计（氧化铝型），可测量低露点 -100° C (
2) 极微量水分 (ppm) 由
⇒ TE-660 露点仪（聚合物型）低露点为
-60
| 格式 | ML-03M |
| 工作压力 | 大气压至10 -8 Pa以下 |
| 工作温度限制 | 0 至 300°C |
| 泄漏量 | 6.7×10 -11 Pa・m 3 /秒以下 |
| 电导（全开） | 8.5ℓ/秒 |
| 密封扭矩 | 5～7牛·米 |
| 连接法兰 | 国际联合会 34 |
| 扭矩扳手方头驱动尺寸 | □ 6.35 |
| 主体材料 | 主体：SUS304 密封材料：OFC 波纹管：SUS304（成型波纹管） |
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