WK 半导体刻蚀清洗用化学品气动隔膜泵

核心特点

1. 全无金属设计（Zero Metal）： 除 PFA 管路、陶瓷组件和电子元件外，所有零部件均由公司自行在 Utah 工厂制造，包括 PTFE 和 PFA 注塑及机加工件，确保纯度和一致性。
2. 洁净室组装： 每台泵在百级（Class 100）温湿度控制洁净室中组装和测试，经过严格测试后干燥并双层封装，确保出厂洁净度和运行完整性。
3. 宽压比能力： 与行业其他品牌不同，White Knight 泵不受压比限制，可安装在高达"死压"（液管线压力等于气源压力）的任何背压工况下运行。
4. 适用温度范围广： 可耐受高达 200°C 的温度。
5. 多种型号覆盖： White Knight 目前生产超过 20 种尺寸/型号组合，覆盖从 AP50 到 AP300 等不同流量需求。

关键参数（AP300 型号）

可选配置与附件

• 脉冲阻尼器： Flatliner™ 脉冲阻尼器（100% PTFE 结构，仅一个运动部件），可将管线脉动降低至 ±0.5 PSI

• 行程检测： 光纤行程检测、固态压力开关行程检测

• 泄漏检测： Bubble In-Bubble Out™ 光纤泄漏检测、光纤气侧泄漏检测、电导率泄漏检测探头

• 程序控制： Merlin™ 泵控制器/翻译器，可编程运行时间和流量配方

• 前置过滤器： Catcher™ 泵前过滤器，防止固体颗粒（如晶圆碎片）损坏泵

• 消声器： Whisper™ 多孔 PTFE 消声器 inserts

安装注意事项

• 吸上 vs 推送： 气动泵推液能力优于吸液能力，建议将泵安装在液源附近以推送液体

• 进气线尺寸： 必须使用规定尺寸的进气管路，气源不足会导致泵运行不稳定

• 干运行限制： 带湿轴的泵（如 AP 系列）应避免干运行，否则会缩短泵寿命

• 易燃溶剂： 使用绝缘材料（PTFE/PFA）制造的泵输送易燃溶剂时，必须对液体本身进行接地处理

• 气源品质： 必须使用 CDA（洁净干燥空气）或氮气，不符合要求的气源可能导致精密部件卡死

维护与保修

• 保修期： 标准一年保修（自启动之日起或发货之日起 18 个月，以先到者为准）

• 重建服务： 提供多种重建选项——返厂重建、技术培训自修、第三方重建、购买重建套件自行维修

• 虚拟重建指导： 提供免费的 Virtual Rebuild 虚拟重建指导工具

• 脱污处理： 手册包含完整的脱污说明和脱污认证表格，确保安全返厂

典型应用行业

• 半导体制造（CMP 工艺、刻蚀等）

• 高纯度化学品输送

• 湿法工艺化学品处理

• 需要零金属污染的精密流体处理场景

WK 半导体刻蚀清洗用化学品气动隔膜泵 White Knight AP300 专为高纯度化学品输送设计。采用全非金属（PTFE/PFA）材质制造，适用于半导体、化工、制药等行业的强腐蚀性、高纯度化学品精确计量与输送。产品经百级洁净室组装测试，支持光纤Stroke检测与泄漏监测，广泛应用于半导体刻蚀、沉积、清洗工艺及各类危险化学品的安全传输。

WK 半导体刻蚀清洗用化学品气动隔膜泵 White Knight AP300 专为高纯度化学品输送设计。采用全非金属（PTFE/PFA）材质制造，适用于半导体、化工、制药等行业的强腐蚀性、高纯度化学品精确计量与输送。产品经百级洁净室组装测试，支持光纤Stroke检测与泄漏监测，广泛应用于半导体刻蚀、沉积、清洗工艺及各类危险化学品的安全传输。