TECHNOVISION超纯水/惰气体在线洁净加热器

日本 TECHNOVISION（テクノビジョン）在线式高纯流体加热器，主打无污染、无析出、无细菌的洁净流体瞬时加热，分为两大系列：QH 超纯水加热系列、SH 惰性气体 / 洁净压缩空气加热系列，广泛用于半导体、FPD 平板显示、生物科技等高洁净产线清洗与干燥工序。

QH 系列｜超纯水（DI 去离子水）加热器

核心：接液材质高纯石英 + 特氟龙，完的全的规避金属离子析出，满足半导体晶圆清洗严苛要求

1. 核心优势

• 无积液死角流道，杜绝细菌滋生、残液污染；

• 垂直在线安装，可直接集成到清洗管路、清洗机台内，点位就地加热；

• 内置 K 型温控传感器 + 过热保护传感器，安全防干烧（小功率 1.0/1.5/2.0kW 机型无内置温控传感器，需出口外接）；

• 最高耐压 0.35MPa，最高使用温度 120℃。

2. 规格范围

• 功率：1.0~36kW；流量：0.5~25L/min；单相 / 200V 三相多种供电规格；

• 接口 Rc3/8、Rc1/2、Rc3/4 锥管内螺纹可选。

3. 典型应用：半导体晶圆清洗、光刻掩膜版清洗、FPD 面板湿法清洗、生物制药高纯水洗工序，热水清洗可显著提升产品良率。

SH 系列｜惰性气体 / CDA 洁净干燥空气加热器

核心：流路 SUS316L 不锈钢 + 电解抛光 EP 处理，洁净干燥气体加热

1. 核心优势

• EP 电解抛光 316L 流路，低析出、耐腐蚀，适合洁净干空气、氮气等惰性气体；

• 紧凑型在线式，适配气刀、风切吹干、干燥模组；

• 标配内置 K 型温控、过热保护，出口最高温度可达 200℃。

2. 规格范围

• 功率：500~2400W 共 6 款；流量 100~1200L/min；单相 / 三相供电可选。

3. 典型应用：晶圆 / 基板风刀干燥、水切吹干装置、各类洁净干燥制程、氮气吹扫加热。

产品通用亮点

1. 在线瞬时加热：管线直装，流体即走即热，无需大型储热水罐，占地小巧；

2. 洁净优先设计：区分液体 / 气体两套材质方案，从源头控制微粒、金属离子污染，适配 Class1~1000 级洁净室；

3. 选型简易：配套流量 - 温升曲线图与简易功率计算公式，方便工程师快速匹配工况；

4. 结构坚固安全：外壳稳固，双重温度传感保护，适合 7×24 小时连续产线运行。

TECHNOVISION超纯水/惰气体在线洁净加热器 SuperCleanHeater QH-4003 分为 QH 超纯水加热款、SH 惰性气体 / 压缩空气加热款，在线式无析出洁净加热。QH 用于晶圆、面板超纯水清洗升温；SH 用于风刀吹干、洁净气体预热，适配半导体、FPD 平板显示、生物技术等高洁净制程，减少污染，提升良率。

TECHNOVISION超纯水/惰气体在线洁净加热器 SuperCleanHeater QH-4003 分为 QH 超纯水加热款、SH 惰性气体 / 压缩空气加热款，在线式无析出洁净加热。QH 用于晶圆、面板超纯水清洗升温；SH 用于风刀吹干、洁净气体预热，适配半导体、FPD 平板显示、生物技术等高洁净制程，减少污染，提升良率。