KITZ SCT 半导体高纯气路防倒流单向止回阀

这是KITZ SCT（开滋 SCT）面向半导体超高纯气体管路推出的阀芯提升式止回阀，属于高纯度气体阀门，用于防止高纯气体倒流，广泛用于半导体制造超净工艺管路。

核心特点

1. 材质：阀体为 SUS316L，耐腐蚀性优异，适配高纯介质；

2. 结构：阀芯 + 阀体精密配合加工，启闭顺滑；弹簧推力稳定，应力恒定，实现长寿命；

3. 密封件：不使用普通 O 圈，采用特殊成型垫片（Elastomer 弹性体，可选 FKM / Kalrez®），极小的气体死区，抑制吹扫残留、减少吸附；

4. 双通道精密对合结构，金属面密封隔绝外界污染，内部密封性能优秀；

5. 紧凑小巧设计，低压到高压工况都可适配，节约安装空间。

主要规格

• 规格型号：IC4（1/4"）、IC6（3/8"）、IC8（1/2"）

• Cv 值：IC4=0.35，IC6=1.1，IC8=1.1

• 最高使用压力：16.2MPa(G)

• 使用流体温度：-10℃～80℃

• 外部泄漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（高真空级漏率）

• 开启压（ cracking pressure，可选规格）：1/3H（约 29.4kPa）、1/6H（约 4.9kPa）、1/32H（约 29.4kPa）

• 反向密封压力：29.4kPa / 4.9kPa 两档

表面等级（2 个版本）

接头连接形式

• V：CVC 公头

• VF：CVC 母头

• S：插入式卡套接头（食込み継手）

型号编码规则（例：IC4-1/3H-VF-F-EP-316L）

IC 止回阀 + 4 尺寸 + 1/3H 开启压力 + VF 接头形式 + F 密封材质 + EP 表面等级 + 316L 阀体材质

• 密封材质 F：FKM 氟橡胶；KL：Kalrez® 全氟醚橡胶

⚠️ 重要注意事项

1. 阀出厂标注开启压力为参考值，随使用压差、工况会发生变化；

2. 长期使用后，开启压力会缓慢漂移；

3. Kalrez® 版本反向密封压力会变化（69kPa）；

4. 不可直接安装在大气开放端、真空容器内部。

典型应用场景

半导体超高纯气体输送、特种气体管路、实验室高纯气路、洁净流体系统，对死空间、泄漏、析出污染要求严苛的 UHP 超纯净管路。

KITZ SCT 半导体高纯气路防倒流单向止回阀 IC4-1/3H-VF-EP-316L SUS316L 材质，低死区、极低泄漏，有机械研磨 / 电解抛光两种表面等级，可防止高纯气体回流。适配半导体超高纯特种气体管路、洁净流体系统，满足精密工艺对管路污染控制、密封可靠性的严苛要求。

KITZ SCT 半导体高纯气路防倒流单向止回阀 IC4-1/3H-VF-EP-316L SUS316L 材质，低死区、极低泄漏，有机械研磨 / 电解抛光两种表面等级，可防止高纯气体回流。适配半导体超高纯特种气体管路、洁净流体系统，满足精密工艺对管路污染控制、密封可靠性的严苛要求。