KITZ SCT KD-E Series 可换座隔膜阀（Replaceable Seat Valves / RSV）

KD-E 属于UHP 超纯气体系列，是 KITZ SCT 基于 KD 系列开发、阀座与隔膜可单独拆卸更换的隔膜阀，多用于半导体前驱体容器、高纯气体管路，适合频繁维护、更换密封件的工况。

核心特点

1. 极小死体积内部滞留容积大幅优化，相比 WD 系列死体积减少 75%，气体置换性能优秀，适合高纯、微量气体工艺。

2. 降低使用成本阀体、执行机构可以重复使用，只更换阀座 + 隔膜密封件，不用整阀换新，长期运维成本更低。

3. 密封件更换便捷配套专用拆装工具包，可快速完成阀座、隔膜更换；阀座与隔膜建议同步更换，旧密封件不可复用。

密封件型号：PTFE 材质 VPK0-0007；PFA 材质 VPK0-0008；另提供单阀、块阀专用工具套装。

基础规格

• 规格：1/4"（KD4-E）

• Cv 值：0.27

• 最大工作压力：0.98 MPa (G)（142 psig）

• 湿区容积：0.083 cm³

• 流体温度：PTFE：-10~80℃；PFA：-10~150℃

• 外环境温度：-10~60℃

• 泄漏率：≤1×10⁻¹⁰ atm・cc/s（氦检）

• 驱动方式：手动 / 气动（气动驱动压力 0.4~0.7 MPa）

• 循环寿命：手动阀 1000 次；气动阀 10 万次

• 阀体材质：SUS316L，可选 STD 机械抛光 / EP 电解抛光 / SEP 超抛光等级

• 密封材质：PTFE / PFA；隔膜：钴合金

• 包装：单袋包装 / 双层洁净包装

连接形式

支持多种高纯管路接口：

• VEC：CVC 公头

• VFEC：CVC 母头

• SEC：卡套压缩连接

• WEC：焊接连接

型号编码规则

KD4 C S - VEC - E - C - 材质等级

• KD：系列；4：1/4 英寸；C = 手动 / S = 气动

• VEC/VFEC/SEC/WEC：接口形式

• E：可换座结构；C：阀座材质

• 后缀 EP-316L、SEP-316LE 等代表抛光等级与材质

典型应用场景

半导体超纯气体、前驱体钢瓶 / 容器、特种气体输送管路，适合需要频繁维护密封、严控残留、低死体积的 UHP 工艺。

KITZ SCT 半导体晶圆制程高纯气体控制阀 KD-E RSV 属于 UHP 超纯气体阀门，死体积小、置换性能优异，阀体可重复使用，仅更换阀座与隔膜，降低运维成本。适用于半导体行业高纯特气、前驱体容器管路，可用于晶圆制造、特种气体输送，支持手动 / 气动控制，满足严苛洁净、低泄漏工艺要求。

KITZ SCT 半导体晶圆制程高纯气体控制阀 KD-E RSV 属于 UHP 超纯气体阀门，死体积小、置换性能优异，阀体可重复使用，仅更换阀座与隔膜，降低运维成本。适用于半导体行业高纯特气、前驱体容器管路，可用于晶圆制造、特种气体输送，支持手动 / 气动控制，满足严苛洁净、低泄漏工艺要求。