Eagle EKK半导体超高真空旋转磁性流体密封

EKK Eagle 磁性流体密封是日本 NOK 集团旗下 Eagle 工业开发的高的端的旋转密封件，依托集团完整的磁性流体材料自研制造能力，利用磁场约束磁性流体，在转轴间隙形成液态 O 型密封圈，在实现真空隔绝的同时传递旋转动力，属于无磨损洁净密封部件。

工作原理

由永磁磁铁、磁极片构建磁回路，纳米级磁性流体被磁力束缚在转轴与磁极间隙，形成连续液态密封屏障；采用多级分压结构承受压差，流体具备自我修复能力；区别于接触式固体密封，运转几乎无摩擦磨损，但不适用于水等液态介质密封。

核心优势

1. 洁净低出气：极低蒸气压，低放气、低发尘，适配半导体严苛洁净腔体；

2. 耐环境性能强：优异耐高温、耐等离子、耐腐蚀性，部分型号无需水冷，抑制 CVD 设备副产物生成；

3. 长寿命低转矩：非接触液态密封，无磨损，运转扭矩小；

4. 真空能力强：可实现普通真空到极的高真空（10^-9 Pa），支持直接排气，无需差动排气；

5. 可定制化：支持单轴、多轴、往复运动、加压工况定制。

主要产品系列

1. ISF 系列：通用真空规格，真空10^-6 Pa，最高耐温 160℃，标准法兰接口；

2. IHF 系列：紧凑型真空密封，体积更小，适合设备紧凑布局；

3. ASF 系列：极的高真空 ICF 法兰款，可达10^-9 Pa，耐温最高 220℃，适配超高真空工艺；

4. 防尘密封：阻挡粉尘、油脂挥发物侵入，用于大气侧防尘防护。

配套磁性流体型号

• 3019：烷基基液，通用防尘密封；

• 3512：全氟聚醚，耐活性气体，防尘 / 真空两用；

• 3551 /3576：超低蒸气压全氟聚醚，超高真空耐热工况（流体不单独售卖）。

应用行业与设备

主要面向半导体、液晶面板、光伏、LED制造设备；适配 LPCVD、离子注入机、辊涂机、基板搬运机器人、单晶提拉设备、真空热处理炉、旋转卡盘、真空转台等真空装备，用来给真空腔传递旋转扭矩，隔离大气与真空腔体。

使用注意要点

1. 禁止溶剂、液体、异物渗入密封内部；检漏仅允许氦质谱检漏；

2. 严禁超过额定压差，真空型最大耐压 98kPa；

3. 安装必须找正对中，偏心会造成密封失效；

4. 最开始一次抽真空或长期停机重启，抽真空之前前需空转磨合 20 转以上；

5. 禁止自行拆解，摔落撞击后必须做泄漏与盘轴检查。

备注：有水冷版本型号后缀增加 W（例 ISF010W），轴径、法兰、工况均可接受非标定制。

Eagle EKK半导体超高真空旋转磁性流体密封 3019 / ASF010 /  ISF010 实现真空隔离、防尘密封，具备低出气、耐等离子、无磨损长寿命特点。主要用于半导体、LCD、光伏、LED 制造设备，也适配真空热处理、离子注入、LPCVD 等真空装备，传递旋转动力，满足高洁净、超高真空工况。

Eagle EKK半导体超高真空旋转磁性流体密封 3019 / ASF010 /  ISF010 实现真空隔离、防尘密封，具备低出气、耐等离子、无磨损长寿命特点。主要用于半导体、LCD、光伏、LED 制造设备，也适配真空热处理、离子注入、LPCVD 等真空装备，传递旋转动力，满足高洁净、超高真空工况。