藤仓RV·S系列半导体制造精密真空调压阀

产品型号：RV-1-2/RV·S-1-3
更新时间：2026-09-10

简要描述：藤仓RV·S系列半导体制造精密真空调压阀 RV-1-2/RV·S-1-3 是一款感度0.13kPa的高精度真空调压阀，流量最高270L/min，支持Rc1/4和Rc3/8配管口径。广泛应用于半导体制造、精密仪器、真空包装、镀膜设备、自动化真空吸附等场景，适用于对真空度控制精度和大流量有严格要求的工业自动化行业。

品牌	其他品牌	产地类别	进口
应用领域	化工,能源,电子/电池,综合,半导体

RV·S系列是藤仓橡胶工业（Fujikura Composites）控制设备事业部推出的一款 FA用高精度真空调压阀，在RV系列基础上进一步集约化设计，支持配管口径Rc1/4和Rc3/8，适用于对真空度控制精度和大流量有较高要求的工业场景。

藤仓RV·S系列半导体制造精密真空调压阀

核心特点

特点	说明
高精度控制	感度高达0.13kPa（1mmHg），反复再现性可达±0.13kPa（±1mmHg）以内，实现极的高的精度的真空度控制
优异的压力特性	针对进口压力变动，设定压力控制在1.3kPa（10mmHg）以内，稳定性出色
大流量型号	流量可达270 L/min（ANR），最的适用于大流量的使用场景
良好的响应性	对出口压力的变动可以敏感响应，动态调节能力强

应用领域

RV·S系列最的适用于需要高精度、大流量真空度控制的场合，如：

半导体/电子制造设备的真空吸附与传输
精密仪器设备的真空夹具
真空包装与镀膜设备
工业自动化中的真空吸盘控制系统
其他需要高精度真空度控制的FA设备

规格参数

项目	RV·S-1-2	RV-1-2	RV-1-3
使用流体	空气（真空）	空气（真空）	空气（真空）
压力设定范围	-1.3~-100 kPa（-10~-750 mmHg）	-1.3~-100 kPa	-1.3~-100 kPa
精度	0.13 kPa（1 mmHg）	0.13 kPa（1 mmHg）	0.13 kPa（1 mmHg）
反复再现性	±0.13 kPa（±1 mmHg）以内	±0.13 kPa（±1 mmHg）以内	±0.13 kPa（±1 mmHg）以内
使用温度范围	5~60℃	5~60℃	5~60℃
流量	200 L/min（ANR）	200 L/min（ANR）	270 L/min（ANR）
配管连接口径	Rc 1/4	Rc 1/4	Rc 3/8
质量	0.5 kg	0.5 kg	0.65 kg
标准配置	支架	支架	支架

型号表示方法

型号编码规则如下：

位置	含义	选项
第1位	基本型式	RV / RV·S
第2位	压力设定范围	2（-1.3~-100 kPa）
第3位	配管连接口径	2（Rc 1/4）/ 3（Rc 3/8）

性能特性

产品提供了详细的压力特性和流量特性曲线图，展示了RV·S系列在不同一次侧压力下二次侧真空压力的稳定性和流量响应特性，表明该系列真空调压阀具有良好的压力稳定性和大流量适应性。

藤仓RV·S系列半导体制造精密真空调压阀

核心特点

应用领域

规格参数

型号表示方法

性能特性

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