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产品型号：FPM-100 / FPM-200
更新时间：2026-09-10简要描述：fujikura FA 半导体/液晶曝光装置用隔振台 FPM-100 / FPM-200 采用蛇腹式空气弹簧技术，具有高除振特性与薄型化设计，固有频率低至2.7Hz，承载范围覆盖500kg至20,000kg。广泛应用于半导体制造装置、半导体检查装置、液晶曝光装置、精密测定装置、精密加工机械等对振动控制有极的高的要求的精密设备领域。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,综合,半导体 |
| 特点 | 说明 |
|---|---|
| 高除振特性，省空间设计 | 蛇腹式橡胶膜片不仅拥有高除振特性，还实现了除振台本体的小型化；膜片壁的薄型化实现了高响应特性 |
| 专用设计对应 | 可调整外接气罐以设定低固有振动数，支持被动支撑转主动化等客户专用设计需求 |
| 低固有频率 | 垂直方向与自然频率2.7~5.5Hz，水平方向同样极低，在高周波领域展现优异除振效果 |
| 蛇腹膜片技术 | 基于膜片制造技术，在极薄壁的同时拥有高耐久性的蛇腹膜片式空气弹簧 |
半导体制造装置 — 光刻、蚀刻等精密工艺设备
半导体检查装置 — 晶圆检测与缺陷分析设备
液晶曝光装置 — LCD/OLED面板制造曝光设备
精密测定装置 — 高精度测量与检测设备
精密加工机械 — 纳米级精密机床与加工设备
其他精密设备 — 对振动敏感的各类高精度工业设备
| 项目 | FPM-100 | FPM-200 | FPM-300 |
|---|---|---|---|
| 腿组成 | 3～4腿 | 3～4腿 | 3～4腿 |
| 安装质量范围 | 500～1,500 kg | 2,000～5,000 kg | 5,000～20,000 kg |
| 行程（垂直方向） | ±3 mm | ±2 mm | ±2 mm |
| 行程（水平方向） | ±3 mm | ±2 mm | ±2 mm |
| 自然频率（垂直方向） | 3.7～5.5 Hz | 3.7～5.5 Hz | 3.7～5.5 Hz |
| 自然频率（水平方向） | 2.7～5.0 Hz | 2.7～5.0 Hz | 2.7～5.0 Hz |
| 位置 | 含义 | 选项 |
|---|---|---|
| 第1位 | 型式 | FPM |
| 第2位 | 搭载质量范围 | 100（500～1,500kg）/ 200（2,000～5,000kg）/ 300（5,000～20,000kg） |
被动除振台在垂直方向与水平方向均拥有 低固有振动数（垂直2.7～5.5Hz，水平2.7～5.0Hz），在高周波领域显示出 高除振特性。以FPM-200为例（荷重2.7吨/3腿），在4.7Hz处实现20dB除振、2.8Hz处实现22dB除振，有效隔绝地面振动对精密设备的影响。
fujikura FA 半导体/液晶曝光装置用隔振台 FPM-100 / FPM-200 采用蛇腹式空气弹簧技术，具有高除振特性与薄型化设计，固有频率低至2.7Hz，承载范围覆盖500kg至20,000kg。广泛应用于半导体制造装置、半导体检查装置、液晶曝光装置、精密测定装置、精密加工机械等对振动控制有极的高的要求的精密设备领域。
fujikura FA 半导体/液晶曝光装置用隔振台 FPM-100 / FPM-200 采用蛇腹式空气弹簧技术，具有高除振特性与薄型化设计，固有频率低至2.7Hz，承载范围覆盖500kg至20,000kg。广泛应用于半导体制造装置、半导体检查装置、液晶曝光装置、精密测定装置、精密加工机械等对振动控制有极的高的要求的精密设备领域。
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