TOPCON 半导体光刻UV检测 辐照度测量光源

产品概述

• 电子元件的天花板与粘接工艺

• PCB 生产线的印刷、干燥和安装

• 各类领域的灭菌工艺

• 半导体、FPD（平板显示器）、印刷电路板的曝光工艺中的紫外灯维护管理

核心特点

1. 金属机身：配备隔热罩，确保稳定测量

2. 多种测量模式：支持实时照度测量、峰值数据测量、累积光量测量

3. 延长电缆：主机与探测器可分离，实现远距离测量

4. 数据存储与通信：内置存储器，支持 RS-232C 通信和模拟输出

5. USB 总线供电：通过 USB 直接供电，使用便捷

6. 标准配套软件：支持指定次数测量、任意间隔测量、测量数据的数值/图形显示及文件输出

主要应用领域

• 各类紫外照射设备的灯泡维护管理

• 步进式光刻机、对准器、激光直写设备

• 激光加工

• UV 消毒/杀菌/净化

• UV 固化/清洗

• UV 表面处理

• 紫外光源研发部门

• 紫外灯出厂检验生产线

• 电子元件

技术规格

标准配件

• 延长单元：ZV-48（2m）

总结

TOPCON TECHNOHOUSE UVR-T2 工业紫外检测仪 TOPCON 半导体光刻UV检测 辐照度测量光源，用于精确测量紫外光源的辐照度与累积光量，适用于半导体、FPD、PCB等光刻工艺的紫外灯维护管理，以及UV固化、UV消毒杀菌、激光加工、电子元件生产等行业的紫外光源检测与设备维护管理。

TOPCON TECHNOHOUSE UVR-T2 工业紫外检测仪 TOPCON 半导体光刻UV检测 辐照度测量光源，用于精确测量紫外光源的辐照度与累积光量，适用于半导体、FPD、PCB等光刻工艺的紫外灯维护管理，以及UV固化、UV消毒杀菌、激光加工、电子元件生产等行业的紫外光源检测与设备维护管理。