kocho 半导体 晶圆基板静电卡盘用 高压电源

产品核心功能

• 模式灵活：支持单极与双极两种模式，通过前面板的三个开关（高压开启、放电、极性切换）即可轻松完成卡盘、放电、解卡操作。

• 控制多样：既可通过前面板的模拟旋钮进行手动控制，也配备了标准的外部控制和外部监控功能，支持外部接点信号和模拟电压信号控制。

• 安全保护：内置自动保护电路，在发生短路或过载时，电流会自动下降并恢复，确保设备安全。

主要规格

• 输入电压：AC100V ±10%

• 输出电压：正极 0～+4kV / 负极 0～-4kV，电流均为 2mA

• 输出稳定性：输入/负载变动率 ≤±0.1%，纹波 ≤0.1%

• 监控显示：前面板配备两台可切换的数字面板表，分别显示正/负极的电压和电流。

• 外部接口：通过一个16P端子台提供高压开启、放电、极性切换、电压监控及外部电压控制等接口。

• 高压输出接口：采用耐压 DC5kV 的 SHV 连接器。

• 外形尺寸：约 W480 × H149 × D430 mm

kocho 半导体 晶圆基板静电卡盘用 高压电源 ELESL-CK01，这是一款静电卡盘专用的高压电源单元，通过产生高压静电场来吸附和释放物体。它主要用于半导体制造、平板显示、精密光学等行业的晶圆或玻璃基板固定、层压处理及材料剥离等工艺。

kocho 半导体 晶圆基板静电卡盘用 高压电源 ELESL-CK01，这是一款静电卡盘专用的高压电源单元，通过产生高压静电场来吸附和释放物体。它主要用于半导体制造、平板显示、精密光学等行业的晶圆或玻璃基板固定、层压处理及材料剥离等工艺。