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CCS PF系列频闪电源:为半导体晶圆检测提供超高速频闪光源控制方案

更新时间:2026-08-14      浏览次数:33

在半导体晶圆高精度检测场景中,高速运动的晶圆产线对光源的同步性、亮度可控性提出了非常高要求,CCS PF系列作为超亮频闪光源专用控制电源,凭借精准的时序控制能力,为晶圆外观缺陷检测、显微成像等环节提供了稳定可靠的超高速频闪光源解决方案。

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核心时序控制优势

半导体晶圆检测往往需要在相机极短的曝光窗口内完成高亮度补光,避免运动模糊、画面欠光问题,PF系列从根源上解决了传统光源时序不匹配的痛点:

  • 支持‌发光延迟时间0~100μs‌,控制精度可达0.1μs,可将发光时序精准对齐到相机曝光区间内,确保晶圆表面获得充足均匀的光照

  • 最短发光时间仅为1μs,适配超高速流水线的晶圆抓拍需求,彻的底的消除高速移动带来的成像拖影

  • 512档精细调光,通过调整输出电压灵活改变光源亮度,可适配不同厚度、不同材质晶圆的检测光照需求


多型号适配产线需求

PF系列提供两款主流规格,可灵活匹配不同规模的晶圆检测工位:

型号通道数量核心适配场景
PF-A4048-22通道小型单工位晶圆检测设备
PF-A16048-44通道多光路并行的高精度晶圆检测线

其中PF-A16048-4额外搭载触发联动功能,仅需输入1路触发信号,即可同步控制多个通道的光源联动点亮/熄灭,满足晶圆多视角同步成像的检测需求。


自动化产线集成能力

针对半导体无尘车间的自动化运行要求,PF系列提供了完的善的对接能力:

  • 同时支持以太网通信与并行通信,可直接接入产线PLC、视觉控制器,实现远程参数配置与状态监控

  • 支持最多10组场景参数存储,通过以太网即可快速完成调光、频闪时长、发光延迟等参数的注册,也可通过触发线缆快速切换不同检测场景的光照方案

  • 支持双调光范围切换:HI档输出DC33~48V,LO档输出DC12~48V,可根据不同检测工位的亮度需求灵活切换,适配从低倍宏观扫拍到高倍显微缺陷检测的全场景需求。


这套方案凭借高同步性、高可控性的频闪控制能力,完的美的适配半导体晶圆高速检测的严苛工况,大幅提升了晶圆外观瑕疵、微观图案的成像清晰度,是工业视觉半导体检测领域的高可靠性光源控制选择。





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