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    AD‑TEC TXR/TXL/TXM 系列 等离子高频电源 半导体刻蚀工艺用 覆盖 400kHz‑27.12MHz 多频段，可实现等离子激发，支持脉冲、电弧保护、EtherCAT 通讯。主要用于等离子清洗、刻蚀、镀膜、表面改性工艺，适配半导体、光掩模、真空镀膜等行业，满足设备自动化产线使用需求。

    更新时间：2026-08-19
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