Santec 晶圆几何参数测量系统 厚度测量仪 TMS-2000 TMS-2000以非接触方式测量晶圆的的厚度分布，可以测量精度为1nm的平整度。 当在涉及极的端的温度变化和振动的不稳定环境中使用时，传统的晶圆厚度映射技术难以解决精度问题，而TMS-2000具有高的环境稳定性。由于其高速测量能力和紧凑的尺寸，TMS-2000可用于涉及在线检测的各种工业领域。

日本santec高性能可调谐激光器TSL-570 快速扫描 描述 Santec 的全新 TSL-570 充分利用了 Santec 在可调谐激光器制造领域 33 年的经验。TSL-570 是一款高性能可调谐激光器，调谐范围广，输出兼具高功率和高信噪比。它采用新型光腔设计，速度控制精确，最高可达 200 nm/s，分辨率和精确度达到亚皮米级。