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日本INTECS超高輝度照明装置UIH-1C 晶圆用

  • 产品型号:UIH-2D / UIH-3D
  • 更新时间:2026-05-20

简要描述:日本INTECS超高輝度照明装置UIH-1C 晶圆用,UIH-2D / UIH-,该设备主要用于半导体晶圆、掩模玻璃、光学部件等精密元件的表面瑕疵(如雾状缺陷/ヘイズ)检测。

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日本INTECS超高輝度照明装置UIH-1C 晶圆用,UIH-2D / UIH-3D,该设备主要用于半导体晶圆、掩模玻璃、光学部件等精密元件的表面瑕疵(如雾状缺陷/ヘイズ)检测。

日本INTECS超高輝度照明装置UIH-1C 晶圆用,UIH-2D / UIH-3D,该设备主要用于半导体晶圆、掩模玻璃、光学部件等精密元件的表面瑕疵(如雾状缺陷/ヘイズ)检测。


日本INTECS超高輝度照明装置UIH-1C 晶圆用

一、核心产品:超高亮度照明装置(UIH系列)


该系列产品利用丁达尔效应(Tyndall Phenomenon),通过高亮度光线照射物体,使表面划痕、灰尘、内部异物和气泡等缺陷能够被肉眼轻松识别。


1. 产品型号规格对比


目前主要有 UIH-1C、UIH-2D、UIH-3D 三个主要型号,具体参数如下表所示:
型号/参数UIH-1C 型UIH-2D 型UIH-3D 型
灯泡额定功率15V 150W100V 300W100V 650W
最高照度约60万勒克斯 (lx)约40万勒克斯 (lx)约30万勒克斯 (lx)
设计照射距离/直径180mm / φ40mm200mm / φ70mm270mm / φ100mm
调光方式SCR相位控制SCR控制 (自动切换50/60Hz)SCR控制 (自动切换50/60Hz)
灯泡寿命最高亮度下50小时+最高亮度下75小时+最高亮度下75小时+
冷却方式强制风冷强制风冷 (带过热监控)强制风冷 (带过热监控)
总重量约7kg约9kg约13kg


2. 共同技术特点


  • 可变光强范围:所有型号的光强调节范围均在 10:1以上

  • 冷却保护机制:为保护灯泡,即使主电源关闭,风扇也会持续运转直至灯室温度降至约40℃以下(UIH-2D和3D具备过热强制熄灯功能)。

  • 适用对象:智能手机屏幕、半导体晶圆(Wafer)、掩模玻璃(Mask Glass)、硬盘、液晶面板、镜头等精密部件的表面及内部检查。


二、其他主要检测设备


除了照明装置,该公司还制造以下专业检测设备:
  • 垃圾坑火灾监控装置(TAM系列):用于监控特定设施的安全装置。

  • 半导体晶圆断面形状测量装置(WEMS、VSSW):用于半导体制造领域的精密测量。





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