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Kokusai Electric晶圆兆声波清洗机 振动板

  • 产品型号:UO1200PMCX 730kHz/1MHz
  • 更新时间:2026-07-07

简要描述:Kokusai Electric晶圆兆声波清洗机 振动板,UO1200PMCX 730kHz/1MHz,该产品是用于半导体制造的高频超声波振子,通过730kHz或1MHz频率实现低损伤、高洁净度清洗。主要适用于晶圆、光刻掩模等精密清洗环节,是半导体行业关键制程设备的核心组件。

产品详情
品牌其他品牌应用领域环保,化工,能源,电子/电池,综合
这是一款由“株式会社 国際電気セミコンダクターサービス"(Kokusai Electric Semiconductor Service Inc.)制造的“微音波®"(Mikrosonic)系列超声波振子,属于高频超声波清洗设备的核心组件。
该产品主要作为半导体制造中高精度清洗环节的外置式振子

Kokusai Electric晶圆兆声波清洗机 振动板


核心特性与优势

  • 高频清洗技术:主打“微音波®"技术,提供 730kHz 和 1MHz 两种固定频率选项。高频超声波能够在实现高洁净度清洗的同时,显著降低对精密半导体元件的物理损伤(低损伤)。

  • 外置安装设计:根据网页图示及描述,该产品主要为外置振子型(也备有浸入式可选),安装于清洗槽外部,通过振动板将超声波传导至清洗液中,便于维护且能保持清洗环境的洁净。

  • 坚固耐用的构造:核心振动元件采用 PZT(锆钛酸铅),振动板、外壳及安装螺栓均采用 SUS(不锈钢) 材质,具备良好的耐腐蚀性和机械强度,适应工业级连续作业需求。

  • 宽温域适应:支持 15℃ 至 70℃ 的使用液温范围,能够适应不同化学清洗工艺的温度要求。


主要规格参数

项目规格详情
产品类型外置式超声波振子(Microsonic Transducer)
型号UO1200PMCX
工作频率730kHz 或 1MHz(需根据清洗对象选择)
振动元件PZT
适用液温15 ~ 70℃
主体材质SUS (不锈钢)
安装方式螺栓固定(附带SUS材质螺母及垫片)


适用场景与行业

该产品专为对洁净度和精度要求非常高的行业设计,主要应用于:
  • 半导体制造:用于晶圆(Wafer)清洗、光刻掩模版清洗等关键制程。

  • 精密部件清洗:适用于需要高精度、低损伤清洗的各类精密电子元件或光学部件。


可选配件(Option)

为了适应不同的化学药液环境,该产品提供多种密封材料(垫圈/Packing)供选择,包括:
  • 标准材质:EPDM、硅橡胶、氯丁橡胶、氟橡胶。

  • 特殊透气材质:Gore-Tex®(戈尔特斯®),可用于需要排气或特殊气密性的场景。


该产品通过了CE、FCC(需另购噪声滤波器)及Semi-F47等标准认证,是一款成熟稳定的工业级清洗组件。




Kokusai Electric晶圆兆声波清洗机 振动板,UO1200PMCX 730kHz/1MHz,该产品是用于半导体制造的高频超声波振子,通过730kHz或1MHz频率实现低损伤、高洁净度清洗。主要适用于晶圆、光刻掩模等精密清洗环节,是半导体行业关键制程设备的核心组件。

Kokusai Electric晶圆兆声波清洗机 振动板,UO1200PMCX 730kHz/1MHz,该产品是用于半导体制造的高频超声波振子,通过730kHz或1MHz频率实现低损伤、高洁净度清洗。主要适用于晶圆、光刻掩模等精密清洗环节,是半导体行业关键制程设备的核心组件。

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