SONOSYS® Megasonic 双喷嘴兆声波清洗系统技术说明

更新时间：2026-03-04

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一、系统概述

SONOSYS® Megasonic 双喷嘴兆声波清洗系统是一款专为精密清洗设计的设备，其核心技术是通过双喷嘴换能器产生兆声波，并借助流动液体（如去离子水）将能量传递至基板表面，实现非接触式清洁。该系统能量集中，每个喷嘴约35瓦的功率可聚焦于2 x 4毫米的小区域，适用于单晶圆、掩膜、液晶显示器、基板及微机电系统等精密部件的清洗。

二、模块化兆声波发生器技术参数

参数类别	详细规格
电气数据	输出功率：70瓦（由MLM 1和MLM 2模块组装）功率调节范围：约20% - 100% 频率范围：950 kHz至1.05 MHz / 1.95 MHz至2.05 MHz / 2.95 MHz至3.05 MHz / 3.95 MHz至4.05 MHz 电源电压：230 VAC；50–60 Hz
机械数据	外壳设计：19英寸机箱3/4 U 尺寸：165x185x329毫米（宽x高x深）重量：约5.2千克
操作条件	环境温度：+10°C至+40°C 湿度要求：需防止冷凝潮湿

三、双喷嘴组件技术参数

参数类别	详细规格
电气数据	高频输入：2 x 35瓦频率组合：1 MHz、2 MHz、3 MHz、4 MHz（可选组合）换能器元件：特殊PZT压电元件
机械数据	外径尺寸：74 x 79.8 x 37毫米重量：600克液流接口：2 x 1/8英寸NPT 电缆长度：标准3米，最长50厘米喷嘴与清洁对象距离：5毫米至20毫米

四、系统配置选项

该系统提供多种配置选项，用户可根据具体需求选择不同频率组合的发生器型号（如13405-100、13407-070、13407-071、13406-002）及喷嘴型号（如13790-003、13790-005、13792-004、13792-005），以适配不同应用场景。