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更新时间：2025-08-02 
浏览次数：23日本LINTEC（琳得科）汽化器 的典型型号及技术介绍，适用于半导体、电子封装等领域的精密涂布工艺：
型号：VEC-2000
用途：液态材料（光刻胶、溶剂）的汽化沉积
技术参数：
汽化温度范围：50~300℃（±0.5℃控温）
最大流量：2000cc/min
适用材料粘度：1-1000cP
优势：
✅ 均匀汽化，膜厚偏差＜±3%
✅ 模块化设计，支持快速换料
型号：VEC-3000P
用途：半导体晶圆级封装（如PI胶、SiO₂前驱体）
技术参数：
汽化精度：±0.1mg/min
支持惰性气体保护（N₂/Ar）
集成式过滤器（防颗粒污染）
优势：
✅ 适用于高纯度工艺（Class 100洁净环境）
✅ 符合SEMI标准
| 领域 | 应用案例 | 适配型号 |
|---|---|---|
| 半导体封装 | 晶圆凸点封装（Underfill） | VEC-3000P |
| 显示面板 | OLED薄膜封装 | VEC-2000 |
| 光伏 | 太阳能电池钝化层沉积 | VEC-2000 |
无气泡汽化：专的利涡流加热技术，避免材料分解
智能控制：触摸屏设定参数，自动记录工艺数据
安全设计：过温/过压保护，通过CE/JIS认证
基础工艺：VEC-2000（性价比高）
高纯环境：VEC-3000P（超低颗粒释放）
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