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山田光学 晶圆硅片碳化硅φ30-60异物检查灯

  • 产品型号:YP-150I YP-150ID YP-250I
  • 更新时间:2026-04-13

简要描述:山田光学 晶圆硅片碳化硅φ30-60异物检查灯 YP-150I YP-150ID YP-250I


yamada-opt山田光学工業YAMADA KOGAKU高辉度卤素光源装置,主要应用于半导体晶圆及液晶基板加工过程中的最终表面检查环节,用于辅助检测表面异物、划痕、研磨不均、雾度及滑移等缺陷。

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山田光学 晶圆硅片碳化硅φ30-60异物检查灯 YP-150I YP-150ID YP-250I

山田光学 晶圆硅片碳化硅φ30-60异物检查灯 YP-150I YP-150ID YP-250I


高亮度卤素光源设备

山田光学 晶圆硅片碳化硅φ30-60异物检查灯






  • 这是一种光源设备,可通过使用400,000勒克斯(在30Φ处)或更高亮度的照明光源,对硅晶圆和玻璃表面的微小划痕进行观察与检测。

  • 1. 样品表面可实现超过400,000Lx的照明。

  • 2. 由于采用卤素灯作为光源,色温高、照度均匀性好,且照明稳定清晰。

  • 3. 采用冷镜后,热量影响大幅降低至传统铝镜的1/3。

  • 4. 通过两级切换机构,可一键实现高亮度观测与低亮度观测。
    YP-150I ・ ・ ・ ・ ・ ・ 照度范围:30mmφ
    YP-250I ・ ・ ・ ・ ・ ・ 照度范围:60mmφ
    (对于YP-250I,可选择螺旋桨风扇型和管道风扇型。)



山田光学 晶圆硅片碳化硅φ30-60异物检查灯



规格



YP-150IYP-250I
灯罩部门照射直径30mmφ60mmφ
照明400,000勒克斯或以上
照射距离140毫米220毫米
二手灯泡带双色镜的灯泡
灯泡类型名称JCR15V150W(Ushio)ELC24V250W(OSRAM)
灯泡寿命35-50小时
色温3,400K°
颜色白色
环境温度0~40℃
冷却方式强制风扇冷却
连接带12φ安装轴带20φ安装轴
尺寸100(宽)×245(高)×116(深)毫米120(宽)×388(高)×130(深)毫米
重量约1.7千克约2.7千克


YP-150IYP-250I
电源部分电源交流100V 50/60Hz交流100V(200V) 50/60Hz
功耗约200瓦约350瓦
照明方式交流照明类型直流照明类型
光强调节电压调节类型
总变化率最大1%(针对输入、漂移、温度波动)
环境温度0~40℃
冷却方式自然冷却强制风扇冷却
尺寸140(宽)×94(高)×185(深)毫米135(宽)×72(高)×260(深)毫米
重量约2.4千克约2千克
其他输入代码:2.0米
输出代码:2.5米
脚踏开关
线缆长度:3.0米
输入代码:2.0米
输出代码:2.0米
(内置软启动电路)
(内置过流保护电路)
(带数字仪表)





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