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半导体晶圆背面图案观察难?试试清和光学SIS-150近红外卤素光源

更新时间:2026-08-08      浏览次数:15
在半导体制造与检测领域,对硅晶圆(Siウェハ)进行内部检查或背面图案观察是一项极的具的挑战性的任务。由于硅材料对可见光不透明,传统的光源难以穿透晶圆,导致无法实现有效的非破坏性检测。
清和光学製作所(Seiwa Optical)推出的近红外卤素光源(SIS-150系列),正是为解决这一难题而生的专业光纤光源装置。

半导体晶圆背面图案观察难?试试清和光学SIS-150近红外卤素光源.png

近红外光:穿透硅晶圆的“钥匙"

SIS-150系列的核心优势在于其发射的光谱在近红外区域有显著峰值。近红外光具备较强的穿透能力,可以轻松穿过硅晶圆。当配合专用的光学系统和对近红外波段敏感的相机使用时,检测人员便能清晰地观察到晶圆的内部结构或背面的电路图案,从而实现精准的非破坏性检测。


SIS-150系列:两种型号,精准匹配不同需求

为了满足不同波长范围的检测需求,SIS-150系列提供了两种型号:
  • SIS-150-NIR
    • 照射波长范围:400 ~ 1100 nm

    • 峰值波长:800 nm

    • 适用于常规的近红外检测应用。

  • SIS-150-AIR
    • 照射波长范围:400 ~ 1700 nm

    • 峰值波长:1000 nm

    • 覆盖更宽的波长范围,适用于需要更长波长进行检测的复杂场景。请注意,此型号需搭配专用耐热光导使用。


高度可控,灵活集成

SIS-150系列不仅在性能上表现出色,在控制方面也提供了极大的灵活性,便于集成到各种自动化检测系统中:
  • 精细调光:支持0.1%至100%的宽范围光量调节,可通过模拟电压(DC 0-5V)进行精确控制。

  • 远程控制:具备远程开关(ON/OFF)功能,方便系统集中控制。

  • 丰富配件:可选配波长选择带通滤波器、机械快门以及支持多种信号(模拟/数字/串行)的256级数字调光板,以满足更专业的检测需求。


产品规格一览

型号照射波长范围峰值波长
SIS-150-NIR400 ~ 1100 nm800 nm
SIS-150-AIR400 ~ 1700 nm1000 nm






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