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showcase气体分析仪溅射工艺CGM2-051 / 052 通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。 采用ULVAC设计的转子轴，实现高性能的排粉。 从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。

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