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honda 1MHz 高周波超声波洗浄装置

  • 产品型号:W-357BM-1200
  • 更新时间:2026-09-08

简要描述:honda 1MHz 高周波超声波洗浄装置 W-357BM-1200 是一款1MHz高频超声波清洗机,采用高周波分离式设计,通过亚微米级超声波空化效应,高效去除颗粒、助焊剂及化学药液残留。适用于半导体晶圆加工、磁头制造、硬盘生产、蓝宝石晶圆及精密镜面研磨件等高精度清洗场景,是半导体产业批量清洗的理想设备。

产品详情
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域化工,能源,电子/电池,综合,半导体
本多電子株式会社(HONDA ELECTRONICS CO.,LTD.)半导体产业用超声波清洗机(批次清洗机)

honda 1MHz 高周波超声波洗浄装置

产品概述

W-357BM-1200 是本多電子生产的 1MHz 高频超声波清洗机,采用高周波分离型设计,能够去除 亚微米级颗粒(パーティクル),专为半导体产业等高精度清洗需求而设计。

主要用途

该设备适用于以下清洗场景:
  • 磁头清洗(磁気ヘッド洗浄)

  • 硅晶圆清洗(シリコンウェーハ洗浄)

  • 蓝宝石晶圆清洗(サファイアウェーハ洗浄)

  • 半导体器件加工后清洗

  • 硬盘清洗(ハードディスク洗浄)

  • 易损材质清洗:如铝制品、镜面研磨品等易受损材料的清洗


可去除的污染物

  • 颗粒(パーティクル)

  • 助焊剂(フラックス)

  • 化学药液(薬液)

产品特色

  1. 数字控制:采用数字控制方式,实现稳定的振荡输出

  2. 丰富接口:提供多种接口,可根据清洗装置进行灵活控制

  3. 精密功率调节:超声波输出功率可 1W 为单位进行微调

振荡器规格

项目W-357BM-600W-357BM-1200
振荡方式单频振荡单频振荡
额定输出600W1200W
输出可调范围100W~600W200W~1200W
标称振荡频率1MHz1MHz
电源输入AC200V~240V 单相 50/60Hz 1200VAAC200V~240V 单相 50/60Hz 2400VA
模拟输出4-20mA 电流输出4-20mA 电流输出
接点输出3点(报警输出、振荡检测输出、电源ON输出)3点(报警输出、振荡检测输出、电源ON输出)
外部驱动输入2点(传感器输入、远程输入)2点(传感器输入、远程输入)
RS485通信MODBUS®协议,RTU模式MODBUS®协议,RTU模式
外形尺寸(W×D×H mm)220×360×143360×360×143
质量5kg7kg
使用环境: 温度 5~40℃,湿度 5~80%(无凝结)
电源 cords 长度: 3m
注:使用高频设备需向相关部门申报许可。

振动子单元

可根据需求定制振动子单元,支持以下规格:
  • 最大允许输入: 600W / 1200W / 1800W / 2400W / 3000W / 3600W

  • 对应晶圆尺寸: 6英寸 / 8英寸 / 12英寸


F型(振动板类型)

项目W-357BM-600FW-357BM-1200F
最大允许输入600W1200W
标称驱动频率1MHz1MHz
有效辐射面(W×D mm)135×160272×154
外形尺寸(W×D×H mm)250×220×68355×245×68
材质板:SUS316L 表面电解研磨板:SUS316L 表面电解研磨
质量3.3kg7kg
对应晶圆尺寸6英寸8英寸
  • 接液部材质:振动板 SUS316L

  • 使用液温度范围:5~80℃

  • 振动子:PZT


S型(槽类型)

项目W-357BM-600SW-357BM-1200S
最大允许输入600W1200W
标称驱动频率1MHz1MHz
有效辐射面(W×D mm)135×160135×160 × 2处
外形尺寸(W×D×H mm)302×296×372496×336×372
槽内尺寸(W×D×H mm)248×236×252442×276×252
材质槽:SUS316L,密封件:Byteon、PTFE槽:SUS316L,密封件:Byteon、PTFE
排水阀1/2 英寸1/2 英寸
质量11.6kg18kg
对应晶圆尺寸6英寸6英寸 × 2
  • 接液部材质:振动板、槽 SUS316L,密封件 PTFE,给水/排水用接头 SUS304

  • 使用液温度范围:5~80℃

  • 振动子:PZT




honda 1MHz 高周波超声波洗浄装置 W-357BM-1200 是一款1MHz高频超声波清洗机,采用高周波分离式设计,通过亚微米级超声波空化效应,高效去除颗粒、助焊剂及化学药液残留。适用于半导体晶圆加工、磁头制造、硬盘生产、蓝宝石晶圆及精密镜面研磨件等高精度清洗场景,是半导体产业批量清洗的理想设备。

honda 1MHz 高周波超声波洗浄装置 W-357BM-1200 是一款1MHz高频超声波清洗机,采用高周波分离式设计,通过亚微米级超声波空化效应,高效去除颗粒、助焊剂及化学药液残留。适用于半导体晶圆加工、磁头制造、硬盘生产、蓝宝石晶圆及精密镜面研磨件等高精度清洗场景,是半导体产业批量清洗的理想设备。







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