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更新时间:2026-08-18
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日本国内厂商多采用加工精度高、稳定性好的"平板型"压电陶瓷,虽然擅长均匀面清洗,但能量集中度存在局限。
Sonosys 的专的利的"蝴蝶压电陶瓷"具有独特的蝴蝶形状,通过结构设计将振动效的率的最的大化。
与同功率输入相比,音压最高提升40%,在将微细沟槽内顽固颗粒弹射出去的"剥离力"方面具有明显优势。
国内厂商则主要基于可靠的平板结构,通过阵列控制多振动子布局来保证均匀性。
频率越高,液体内粒子的加速度越大,同时破坏性的空化效应(气泡破裂)被抑制。
即实现"能去除污垢,但不破坏纳米级精细图案"这一极的高的要求的清洗效果。
全PFA密封结构: Sonosys 将换能器整体用PFA(氟树脂)完的全的封装,即使将设备直接浸泡在浓盐酸、强碱或高温药液中施加超声波,内部振动子也不易劣化,具有压倒性的耐久性。
即插即用: 采用符合欧洲标准的19英寸机架紧凑型发生器,易于加装到现有设备或进行OEM集成。
下一代半导体
MEMS(微机电系统)开发
光掩模(Photomask)
掩模清洗
单片清洗(枚叶清洗)
Sonosys 的大型超声波清洗喷嘴凭借专的利的蝴蝶振动子技术,实现了超越日本国内厂商的高音压和超高频率(最高9MHz)。尤其在半导体和MEMS开发等领域,能够在不破坏纳米级精细图案的前提下进行清洗,是面向下一代工艺的强力解决方案。事实上,已有不少日本国内制造厂商的设备中直接集成了 Sonosys 的产品。
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