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多轴电动舞台控制系统 光学检测/半导体用

  • 产品型号：tsubosaka CMS-1
  • 更新时间：2026-09-04

简要描述：tsubosaka CMS-1 多轴电动舞台控制系统 光学检测/半导体用 凭借6μm级移动分辨率、±25mm大行程、位置示教记忆功能以及DLL扩展能力，能够满足光学对准、精密检测、半导体等高的端的领域对多轴定位的严苛要求。

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产品详情
品牌其他品牌产地类别进口
应用领域化工,能源,电子/电池,综合,半导体
壷坂電機株式会社（Tsubosaka Electric Co., Ltd.）CMS-1 是一款多轴电动舞台控制系统，集成了旋转轴（Yaw/Pitch）和直线轴（X/Y/Z）共5个自由度，可通过专用PC软件精确控制各轴运动。支持位置的示教、记忆与调用功能，同时提供DLL文件及电动舞台轴变更等扩展选项，适用于需要高精度多轴定位的光学、半导体、精密测量等领域。

多轴电动舞台控制系统 光学检测/半导体用

核心亮点

亮点说明
五轴联动配备3个直线轴（X/Y/Z）+ 2个旋转轴（Yaw/Pitch），实现全角度精密定位
PC软件控制搭载专用PC控制软件，操作直观，支持Windows 10系统
位置示教与记忆支持位置的示教（Teaching）、存储和调用，重复定位便捷高效
DLL扩展提供DLL文件，可嵌入自有控制系统，支持舞台轴变更的定制选项
USB通信采用USB 2.0 Type-B接口，即插即用，通信稳定

详细规格

项目参数
型号CMS-1
对应操作系统Microsoft Windows 10
移动范围X轴：±25mm / Y轴：±25mm / Z轴：±10mm / Yaw轴[RH]：±45° / Pitch轴[RV]：±35°
移动分辨率X轴：6μm / Y轴：6μm / Z轴：10μm / Yaw轴[RH]：0.2° / Pitch轴[RV]：0.2°
耐荷重2.0 kg
样品台最大工件尺寸250 × 150 × 150 mm
通信接口USB 2.0 Type-B 连接器
电源电压AC100V 50/60Hz
消费电力100 VA（不含PC）
工作温度5 - 40 ℃
工作湿度80% 以下（无凝露）
尺寸（mm）舞台本体：300(W) × 400(D) × 550(H) / XYZ控制箱：200(W) × 200(D) × 145(H) / RH,RV控制箱：200(W) × 200(D) × 145(H)
重量舞台本体：约16.0 kg / XYZ控制箱：约3.0 kg / RH,RV控制箱：约2.9 kg
附件紧急停止按钮
扩展功能DLL文件提供、舞台变更

适用场景

该多轴电动舞台控制系统适用于需要高精度多轴定位与调整的精密光学和工业检测场合，如：

  • 光学系统对准 — 透镜、棱镜等光学元件的精密角度与位置调整

  • 镜头检测/对焦测试 — 多自由度下对镜头进行精确对准和焦距测试

  • 半导体检测 — 晶圆或光掩模的精密定位与扫描

  • 传感器校准 — 相机、光电传感器等多轴对准校准

  • 自动化光学检测（AOI） — 与PC软件联动实现自动化多轴检测流程


总结

CMS-1 是一款集五轴精密运动控制于一体的电动舞台控制系统，凭借6μm级移动分辨率、±25mm大行程、位置示教记忆功能以及DLL扩展能力，能够满足光学对准、精密检测、半导体等高的端的领域对多轴定位的严苛要求。配合USB通信和专用PC软件，可实现高效、灵活的系统集成与自动化控制



tsubosaka CMS-1 多轴电动舞台控制系统 光学检测/半导体用 凭借6μm级移动分辨率、±25mm大行程、位置示教记忆功能以及DLL扩展能力，能够满足光学对准、精密检测、半导体等高的端的领域对多轴定位的严苛要求。

tsubosaka CMS-1 多轴电动舞台控制系统 光学检测/半导体用 凭借6μm级移动分辨率、±25mm大行程、位置示教记忆功能以及DLL扩展能力，能够满足光学对准、精密检测、半导体等高的端的领域对多轴定位的严苛要求。






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