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探头/控制器与传感器类
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MIYUKI Mebras MG‑mini485 半导体真空腔体压力闭环 自动压力控制器 自动压力控制器实现 ±0.5% 高精度真空压力闭环调控,具备双 PID 记忆、RS485 通讯,支持 7 台设备组网联动,适配 GAR、BAR 阀门,兼容多款真空计信号。多用于半导体、真空镀膜、工业工艺腔体行业,稳定调节腔体压力,保障真空工艺工况稳定。
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