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半导体真空腔体压力闭环 自动压力控制器

  • 产品型号:MIYUKI Mebras MG‑mini485
  • 更新时间:2026-08-21

简要描述:MIYUKI Mebras MG‑mini485 半导体真空腔体压力闭环 自动压力控制器 自动压力控制器实现 ±0.5% 高精度真空压力闭环调控,具备双 PID 记忆、RS485 通讯,支持 7 台设备组网联动,适配 GAR、BAR 阀门,兼容多款真空计信号。多用于半导体、真空镀膜、工业工艺腔体行业,稳定调节腔体压力,保障真空工艺工况稳定。

产品详情
品牌其他品牌价格区间面议
产地类别进口应用领域钢铁/金属,汽车及零部件,综合,半导体,机械设备

这是日本MIYUKI(美幸)出品的自动压力控制器,多用于真空、压力工艺系统,支持 RS‑485 总线多路组网控制。

半导体真空腔体压力闭环 自动压力控制器

产品特长

  1. 上电自动原点回零:接通电源后自动执行原点复位。

  2. RS‑485 通讯:参数设置、设备操作全部可通过通讯完成。

  3. 2 组 PID 记忆:内置两组 PID 参数存储,可快速切换,实现高速自动压力控制。

  4. 控制精度:设定压力的 ±0.5%

  5. 真空计输入信号:标配 DC0‑5V、DC0‑10V;可选配 4‑20mA 电流输入。

  6. 多路组网:设置单元编号,最多可7 台并联(多分支连接),由上位系统统一管控。


主要规格参数

项目参数
型号MG‑mini485
压力控制范围1~10⁵ Pa
适配阀门GAR / BAR
控制方式RS‑485 (2 线式) 通讯 + I/O 硬接线
单元编号设置1~7(最多 7 台组网)
RS‑485 接口波特率 19200,8 位数据,1 停止位,偶校验;16 进制 ASCII 协议,应答≤200ms
I/O 输入输出输入:打开、关闭、复位、电机自由;输出:报警
真空计输入DC 0‑5V / DC 0‑10V;4‑20mA 为选配件
断电阀门动作GAR 型:断电保持阀位(电机电磁刹车保持);BAR 型:断电保持阀位(标准电机无法保持)
供电电源DC24V ±5%,最大功耗 90W
外形尺寸 (W×D×H)110 mm × 260 mm ×145 mm
重量1.6 kg
使用环境温度 0‑50℃(室内),湿度 90% RH 以下
附件安装支架;电机电缆、电磁刹车电缆为选购件










多台组网

支持多分支总线连接,最多7 台 MG‑mini485 挂在同一条 RS‑485 总线上,由上位控制系统统一通信管理,适合多腔体、多通道真空压力设备。


适用场景

半导体设备、真空镀膜、工艺腔体、工业真空系统,用来闭环自动调节腔体内压力,实现高精度真空压力稳定控制。

备注:4‑20mA 真空计输入属于选购规格,订货时需要特别指定。




MIYUKI Mebras MG‑mini485 半导体真空腔体压力闭环 自动压力控制器 自动压力控制器实现 ±0.5% 高精度真空压力闭环调控,具备双 PID 记忆、RS485 通讯,支持 7 台设备组网联动,适配 GAR、BAR 阀门,兼容多款真空计信号。多用于半导体、真空镀膜、工业工艺腔体行业,稳定调节腔体压力,保障真空工艺工况稳定。

MIYUKI Mebras MG‑mini485 半导体真空腔体压力闭环 自动压力控制器 自动压力控制器实现 ±0.5% 高精度真空压力闭环调控,具备双 PID 记忆、RS485 通讯,支持 7 台设备组网联动,适配 GAR、BAR 阀门,兼容多款真空计信号。多用于半导体、真空镀膜、工业工艺腔体行业,稳定调节腔体压力,保障真空工艺工况稳定。






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