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产品型号：ME 系列
更新时间：2023-05-20简要描述：photonic-lattice厚度/折射率测量椭偏仪 ME 系列这是一款高速映射椭圆仪，可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面（最大⌀300 mm 是可选的），可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它支持各种膜厚分布测量。
| 品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 环保,化工,能源,电子,综合 |
photonic-lattice厚度/折射率测量椭偏仪 ME 系列
photonic-lattice厚度/折射率测量椭偏仪 ME 系列
这是一款高速映射椭圆仪，可以测量 φ8″ 晶圆的整个表面（最大⌀300 mm 是可选的），可以高速和高密度测量 1 nm 或更小的膜厚度变化。它
支持各种膜厚分布测量。
从显微镜尺寸到大尺寸（约 50 cm），我们备有与测量对象相对应的产品系列
这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备，它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。
一种可以在显微镜视野中测量双折射的类型。
附带的显微镜可以从奥林巴斯或尼康中选择。
PA-micro-S 是没有显微镜的只有测量头的产品。
这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备，它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。
它是一种可以在线安装的类型，光源和测量台可以分开。
这是一款测量范围为 0 至 130 nm 的低相位差设备，它以 500 万像素的高分辨率高速测量双折射/相位差的分布。
它是一种可以在线安装的类型，光源和测量台可以分开。
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