技术文章/ article

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  • 一、行业背景与技术痛点随着半导体器件制造向微细化发展,以及300mm晶圆和大型LCD基板的普及,生产技术对精度的要求达到了前的所的未的有的高度。在这一进程中,药液中肉眼难以察觉的**微气泡(Microbubbles)**已成为制约良率的关键...

  • 在半导体制造工程中,清洗工艺是确保器件良率的关键环节。随着微细加工技术的进步,清洗介质与清洗方式的优化变得至关重要。本文基于野村マイクロ・サイエンス和久井茂夫先生于2003年发表的技术文献,探讨在超纯水高压清洗过程中,针对静电故障问题所采取...

  • 🛠️一、产品概要与工作原理1.核心技术eFLOWSeries采用DIC自主研发的“中空丝气液透过膜”技术,通过向超纯水(DIW)中溶解二氧化碳(CO2)气体,调节水的比电阻值,从而防止静电引发的“灰尘再附着”及“静电破坏”。工作原理:超纯...

  • 在半导体与电子元件的制造流程中,清洗环节至关重要。然而,作为清洗介质的超纯水(UPWater),由于其离子含量极低,在特定工况下容易引发静电问题,进而影响产品的良率。针对这一行业共性难题,NGK公司开发了MEGCON系列超纯水带电防止器。该...

  • 🛡️一、产品背景与核心功能1.研发背景在半导体制造中,超纯水因离子成分极低,清洗时容易产生静电,导致电路破坏、表面荷电及微粒子再附着等不良现象。2.核心功能MEGCON通过向超纯水中溶解碳酸气体(形成酸性功能水),有效消除静电,从而解决因...

  • 📄一、文档概览与产品简介1.产品定义MEGCONII+是一种通过特殊中空纤维膜向超纯水中溶解二氧化碳气体,从而控制超纯水比电阻值的装置。2.应用背景在半导体精密清洗中,超纯水因缺乏离子成分易产生静电,导致电路破坏或微粒子再附着。该设备通过...

  • 在半导体制造、液晶面板生产等精密工业领域,对清洗工序中使用的超纯水(UltrapureWater)温度控制有着极的高的要求。Rexxam公司推出的RHDIW150A超纯水加热单元,凭借其独特的加热技术和高洁净设计,成为满足这些严苛环境需求的...

  • 📦产品概述与核心性能Mega255是一款专为高流量化学输送设计的泵,具备卓的越的流体处理能力。其核心参数包括:最的大流量达255LPM(67GPM),最的高工作温度为212°F(100°C),最的大压力为80PSIG(0.55MPa)。该...

  • 在半导体、光伏及精细化工的流体输送环节,设备面临的最的大挑战往往不是流量,而是**“共存”**——如何在输送极的具侵蚀性化学药液的同时,保证设备自身不被腐蚀,且不对药液造成二次污染。作为IDEXCorporation旗下的精密流体单元,Tr...

  • 在半导体、LED及制药的微观世界里,流体的纯度直接决定了产品的良率。作为IDEXCorporation旗下的精密流体处理单元,Trebor(特雷博)的产品哲学非常简单:在流体路径上,绝不让金属存在。围绕这一核心,Trebor构建了一套从加热...

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