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更新时间：2026-01-06 
浏览次数：37MEGCON II+ 是一种通过特殊中空纤维膜向超纯水中溶解二氧化碳气体，从而控制超纯水比电阻值的装置。
在半导体精密清洗中，超纯水因缺乏离子成分易产生静电，导致电路破坏或微粒子再附着。该设备通过降低比电阻值赋予水导电性，防止静电故障。
包括掩膜版/光罩（Mask/Reticule）、晶圆工艺（Wafer processing）、划片工艺（Dicing process）、液晶工程及CMP工程等。
文档列出了两大系列，主要区别在于安装类型和气源供给方式：
柜式（Cabinet type）：内置空气泵，型号为PRC II。
机架式（Rack type）：分为内置空气泵（PRC II）和外部供气（FRC II）两种。
文档提供了详细的参数对比表，涵盖以下关键指标：
型号：1000ACD, 1200ACD, 2000ACD, 1220ACD, 2040ACD（柜式）；1000AD, 1200AD, 2000AD, 1220AD（机架式）。
最的大流量：范围从1000 L/hr 到 4000 L/hr（2040ACD型号）。
控制范围：根据不同型号，比电阻控制范围在0.1 MΩ·cm 到 2.0 MΩ·cm之间。
外形尺寸与重量：
柜式：520W×400D×1150H mm，重65kg。
机架式：480W×355D×200H mm，重15kg。
接液部材质：细胞（气体导入部）为PP，配管为PVC或波纹管。
超纯水：压力常用0.35MPa以下（最的大0.45MPa），温度5~35℃，水质10MΩ·cm以上。
CO₂气体：压力0.1~0.2MPa，纯度99.5%以上。
电源：AC100-240V (50/60Hz)。
流量变动适应：即使流量波动，也能自动将比电阻值控制在设定值。
多种控制模式：根据使用点数量和流量，提供传感器测量控制、解离预测控制、流量预测控制三种模式。
小流量控制：改善了小流量时的控制能力。
触控屏幕：主画面集成必要信息，可视性好，新增密码锁和警报历史功能。
SECS转换器：新增半导体制造设备SECS通信接口，可向主机发送比电阻、温度、水量及报警数据。
数据存储系统：可将数据导入PC，以图表形式显示变化并保存，用于清洗作业的品质管理。
采用中空纤维膜，相比鼓泡方式无粒子混入且CO₂消耗少；配备膜干燥功能，在未使用时自动干燥膜，延长膜的使用寿命。
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