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更新时间：2026-01-06 
浏览次数：37在半导体制造、液晶面板生产等精密工业领域，对清洗工序中使用的超纯水（Ultrapure Water）温度控制有着极的高的要求。Rexxam 公司推出的 RHDIW150A 超纯水加热单元，凭借其独特的加热技术和高洁净设计，成为满足这些严苛环境需求的专业解决方案。
该设备的核心在于采用了高效率石墨加热管作为热源。与传统的卤素加热管相比，石墨加热管在热效率上具有显著优势，能够有效降低能耗，实现更经济的运行成本。
除了节能特性外，该加热单元还具备极的高的稳定性。其电阻值在长期使用中保持稳定，这直接延长了加热器的使用寿命，减少了设备维护和更换的频率。
为了确保液体的纯净度，设备还提供了高精度过滤器作为选配功能。这一设计能够有效过滤液体中的微细粒子，防止杂质污染，满足高洁净度制程的要求。
RHDIW150A 型号在设计上兼顾了大流量与高精度温控。以下是该设备的主要技术参数：
液体种类：专为超纯水设计。
温度控制：设定范围覆盖 25℃～85℃，温控精度极的高，可控制在设定温度 ±1℃ 以内。
流量与压力：标准药液流量为 38L/min，压力损失控制在 0.027MPa以下，确保流体输送的稳定性。
加热能力：配备 147kw 的石墨加热管，提供强劲的加热动力。
材质与构造：与纯水接触的部位均采用 石英 和 氟树脂，这两种材质具有优异的耐腐蚀性和低析出特性，保证了水质的纯净。
外形尺寸与电源：设备尺寸为 1010(W)×1260(D)×2120(H) mm，重量为 520kg。电源支持三相 AC220V～480V ±10%。
凭借其精密的温控能力和高洁净特性，Rexxam RHDIW150A 超纯水加热单元主要应用于以下高的端制造工序：
半导体清洗工序：在芯片制造过程中，对晶圆进行高洁净度的清洗。
液晶清洗工序：用于液晶面板生产中的清洗环节。
药液稀释加热：适用于需要精确温度控制的药液处理过程。
Rexxam RHDIW150A 超纯水加热单元通过采用石墨加热技术，在提升热效率和延长设备寿命方面表现出色。其 ±1℃ 的温控精度和选配的高精度过滤系统，使其成为半导体、液晶等尖的端产业中不可的或缺的温控设备，能够有效保障生产工艺的稳定性和产品的良率。
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